Графітова обертова приймача

Графіт високої чистоти, що обертається, відіграє важливу роль в епітаксіальному зростанні нітриду галію (процес MOCVD). VeTek Semiconductor є провідним виробником і постачальником графітових обертових токоприймачів у Китаї. Ми розробили багато високочистих графітових продуктів на основі високочистих графітових матеріалів, які повністю відповідають вимогам напівпровідникової промисловості. VeTek Semiconductor з нетерпінням чекає на можливість стати вашим партнером у Rotating Graphite suceptor.

Надіслати запит

Опис продукту

Schematic diagram of the working process of High purity graphite rotating susceptor

Високочисті графітові обертові токоприймачі використовуються в обладнанні для обробки матеріалів у середовищі високої температури та високого вакууму. В епітаксіальному зростанні нітриду галію (процес MOCVD) вони відіграють допоміжну роль у обертанні підкладки. Обертовий графітовий токоприймач VeTekSemi має такі переваги:

● Висока чистота: Вміст домішок у високочистих графітових обертових токоприймачах становить менше 5 ppm. Цей рівень чистоти графіту дозволяє уникнути виділення домішок при високих температурах, щоб забезпечити чистоту процесу осадження. Тому для виконання робочих вимог покриття не потрібне.

Графіт високої чистоти

● Чудові термічні властивості: Графіт високої чистоти має чудову теплопровідність, і його теплопровідність набагато вища, ніж у інших матеріалів. Коефіцієнт теплового розширення невеликий і може підтримувати стабільну продуктивність при зміні температури.

● Хороші механічні властивості: Графіт високої чистоти має хорошу зносостійкість і в'язкість, що може відповідати складним вимогам процесу CVD.

● Відмінна провідність: провідність у сто разів вища, ніж у звичайних неметалічних мінералів.

● Хімічна стабільність: Він може протистояти корозії від кислот, лугів і органічних розчинників

Більше того, як провідний виробник і постачальник високочистого графітового обертового приводу в Китаї, VeTek Semiconductor також постачає високоякісніГрафітовий токоприймач із покриттям SiC для MOCVD, Токоприймач бочки з покриттям SiC, Графітовий приймач із покриттям TaCіСусцептор покриття MOCVD SiC.VeTek Semiconductorпрагне надавати передові технології та рішення для продуктів для напівпровідникової промисловості, а також підтримує індивідуальні послуги. Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

VeTek SemiconductorМагазини графітових обертових токоприймачів:

Graphite Susceptor Vetek Semiconductor Graphite Rotating Susceptor test Semiconductor ceramics technology