Дископодібна душова лійка з масиву SiC

Роль дископодібної насадки Solid SiC у процесі CVD полягає в рівномірному розподілі реакційного газу над зоною осадження, щоб газ міг рівномірно дифундувати по всьому реактору для отримання плоскої однорідної плівки.

Душову насадку Solid SiC встановлюють у верхній частині CVD-печі або біля входу газу. Реакційний газ потрапляє в дископодібну структуру через отвори, розташовані на душовій лійці, і дифундує вздовж поверхні душової лійки. Завдяки багатоканальній конструкції та рівномірно розподіленим випускним отворам реакційний газ може рівномірно протікати по всій площі реактора, уникаючи концентрації або турбулентності та забезпечуючи сталість товщини шару, нанесеного на підкладку.

У той же час, структура напівпровідникової дискової насадки для душа також має ефект дифузії, який може ефективно зменшити швидкість потоку газу, щоб він міг рівномірно розсіюватися на виході з сопла, і зменшити вплив місцевого газу зміни потоку на вплив осадження. Це допомагає уникнути прямого впливу газу на основу та запобігти проблемі нерівномірного осадження.

З точки зору матеріалів, насадка для душа Solid SiC Gas виготовлена ​​зі стійкого до високих температур, корозії та високоміцного твердого SiC матеріалу з дуже високою стабільністю. Він може стабільно працювати тривалий час в CVD-печі і має тривалий термін служби.

VeTek Semiconductorнадає високоякісні індивідуальні послуги. Форму та розташування отворів дископодібної душової лійки Solid SiC можна гнучко регулювати відповідно до вимог процесу замовника для адаптації до різних типів газу, швидкості потоку та матеріалів осадження. Для різних розмірів реакторів або розмірів підкладки можна налаштувати дископодібні душові насадки з різними діаметрами та розподілом отворів, щоб оптимізувати ефект розподілу газу.

VeTek Semiconductorмає зрілі процеси та передові технології для душових насадок Solid SiC Semiconductor, що допомагає великій кількості клієнтів досягти постійного прогресу в процесах CVD. VeTek Semiconductor сподівається стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Фізичні властивості твердого SiC

VeTek SemiconductorЦехи з виробництва душових лійок з міцного SiC диска