Що таке покриття з карбіду танталу?

Керамічний матеріал з карбіду танталу (TaC) має температуру плавлення до 3880 ℃ і є сполукою з високою температурою плавлення та хорошою хімічною стабільністю. Він може підтримувати стабільну роботу в умовах високої температури. Крім того, він також має стійкість до високих температур, стійкість до хімічної корозії та хорошу хімічну та механічну сумісність з вуглецевими матеріалами, що робить його ідеальним матеріалом для захисного покриття графітової підкладки. 

Покриття з карбіду танталу може ефективно захистити графітові компоненти від впливу гарячого аміаку, водню, парів кремнію та розплавленого металу в суворих умовах експлуатації, значно подовжуючи термін служби графітових компонентів і пригнічуючи міграцію домішок у графіті, забезпечуючи якістьепітаксійнийіріст кристалів.

Рисунок 1. Поширені компоненти з покриттям з карбіду танталу

Хімічне осадження з парової фази (CVD) є найбільш зрілим і оптимальним методом для отримання покриттів TaC на графітових поверхнях.

Використовуючи TaCl5 і пропілен як джерела вуглецю і танталу відповідно, і аргон як газ-носій, високотемпературна пароподібна пара TaCl5 вводиться в реакційну камеру. При цільовій температурі та тиску пари вихідного матеріалу адсорбуються на поверхні графіту, зазнаючи серії складних хімічних реакцій, таких як розкладання та з’єднання джерел вуглецю та танталу, а також низки поверхневих реакцій, таких як дифузія та десорбція побічні продукти прекурсора. Нарешті, на поверхні графіту утворюється щільний захисний шар, який захищає графіт від стабільного існування в екстремальних умовах навколишнього середовища та значно розширює сценарії застосування графітових матеріалів.

малюнок 2.Принцип процесу хімічного осадження з газової фази (CVD).

VeTek Semiconductorв основному постачає вироби з карбіду танталу: напрямне кільце TaC, кільце з трьома пелюстками з покриттям TaC, тигель з покриттям TaC, пористий графіт з покриттям TaC широко використовується в процесі вирощування кристалів SiC; пористий графіт з покриттям TaC, напрямне кільце з покриттям TaC, графітовий вафельний носій з покриттям TaC, Токоприймачі з покриттям TaC, планетарні приймачі, супутникові приймачі з покриттям TaC, і ці продукти з покриттям з карбіду танталу широко використовуються вПроцес епітаксії SiCіПроцес вирощування монокристалів SiC.

малюнок 3.VeTНайпопулярніші продукти для покриття з карбіду танталу від ek Semiconductor