Кремнієва епітаксія, EPI, епітаксія, епітаксіальний означає вирощування шару кристала з однаковим напрямком кристала та різною товщиною кристала на одній кристалічній кремнієвій підкладці. Технологія епітаксійного росту потрібна для виробництва напівпровідникових дискретних компонентів та інтегральних схем, оскільки домішки, що містяться в напівпровідниках, включають N-тип і P-тип. Завдяки комбінації різних типів напівпровідникові прилади демонструють різноманітні функції.
Метод росту кремнієвої епітаксії можна розділити на газофазну епітаксію, рідкофазну епітаксію (LPE), твердофазну епітаксію, метод росту хімічного осадження з парової фази широко використовується у світі для забезпечення цілісності решітки.
Типове обладнання для епітаксійного кремнію представлено італійською компанією LPE, яка має епітаксіальний гіпнотичний тор, бочкоподібний гіпнотичний тор, напівпровідниковий гіпнотичний пристрій, носій для пластин тощо. Принципова схема реакційної камери бочкоподібного епітаксіального гіплектора виглядає наступним чином. VeTek Semiconductor може надати бочкоподібний епітаксійний гіпектор пластини. Якість HY-селектора з покриттям SiC дуже зріла. Якість еквівалентна SGL; У той же час VeTek Semiconductor може також надати кремнієву епітаксіальну реакційну порожнину, кварцову насадку, кварцову перегородку, дзвоник та інші повні вироби.
Кремнієвий епітаксіальний привід Вафельний токоприймач бочкоподібного типу Напівпровідниковий приймач Сусцептор із покриттям SiC
Якщо епітаксіальний приймач Приймач млинців Токоприймач з покриттям SiC
Монокристалічний кремнієвий епітаксіальний лоток із покриттям SiC є важливим аксесуаром для епітаксійної печі для монокристалічного кремнію, що забезпечує мінімальне забруднення та стабільне середовище для епітаксійного росту. Монокристалічний кремнієвий епітаксіальний лоток із покриттям SiC від VeTek Semiconductor має надтривалий термін служби та надає різноманітні можливості налаштування. VeTek Semiconductor сподівається стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитСтвоприймач із CVD SiC-покриттям VeTek Semiconductor є основним компонентом бочкоподібної епітаксіальної печі. За допомогою стовбура з CVD-SiC-покриттям кількість і якість епітаксійного росту значно покращуються. VeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником SiC-покриття. Barrel Susceptor, і займає провідний рівень у Китаї та навіть у світі. VeTek Semiconductor сподівається на встановлення тісної співпраці з вами в напівпровідниковій промисловості.
ДетальнішеНадіслати запитГрафіт високої чистоти, що обертається, відіграє важливу роль в епітаксіальному зростанні нітриду галію (процес MOCVD). VeTek Semiconductor є провідним виробником і постачальником графітових обертових токоприймачів у Китаї. Ми розробили багато високочистих графітових продуктів на основі високочистих графітових матеріалів, які повністю відповідають вимогам напівпровідникової промисловості. VeTek Semiconductor з нетерпінням чекає на можливість стати вашим партнером у Rotating Graphite suceptor.
ДетальнішеНадіслати запитЯк провідний виробник і новатор продуктів CVD SiC Pancake Susceptor в Китаї. VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, як дископодібний компонент, розроблений для напівпровідникового обладнання, є ключовим елементом для підтримки тонких напівпровідникових пластин під час високотемпературного епітаксійного осадження. VeTek Semiconductor прагне надавати високоякісні продукти SiC Pancake Susceptor і стати вашим довгостроковим партнером у Китаї за конкурентними цінами.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є провідним виробником і інноватором CVD SiC-Coated Barrel Susceptor в Китаї. Наш CVD-SiC-Coated Barrel Susceptor відіграє ключову роль у сприянні епітаксійного росту напівпровідникових матеріалів на пластинах завдяки чудовим характеристикам продукту. Ласкаво просимо на подальшу консультацію.
ДетальнішеНадіслати запитEPI-суцептор VeTek Semiconductor розроблений для вимогливого епітаксіального обладнання. Його високочиста графітова структура з покриттям з карбіду кремнію (SiC) забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини епітаксійного шару та стійкості, а також тривалу хімічну стійкість. Будемо раді співпраці з вами.
ДетальнішеНадіслати запит