VeTek semiconductor є провідним виробником матеріалів для покриття з карбіду танталу для напівпровідникової промисловості. Наші основні пропозиції продуктів включають деталі з покриттям з карбіду танталу CVD, деталі зі спеченим покриттям TaC для вирощування кристалів SiC або процесу епітаксії напівпровідників. Компанія VeTek Semiconductor пройшла стандарт ISO9001 і добре контролює якість. VeTek Semiconductor прагне стати інноватором у галузі покриття з карбіду танталу завдяки постійним дослідженням і розробці ітераційних технологій.
Основною продукцією єДефекторне кільце з покриттям з карбіду танталу, відвідне кільце з покриттям TaC, деталі півмісяця з покриттям з TaC, планетарний ротаційний диск з покриттям з карбіду танталу (Aixtron G10), тигель з покриттям TaC; кільця з покриттям TaC; пористий графіт з покриттям TaC; графітове покриття з карбіду танталу; Напрямне кільце з покриттям TaC; пластина з покриттям з карбіду танталу TaC; Вафельний токоприймач з покриттям TaC; кільце покриття TaC; Покриття TaC Graphite Cover; Частка з покриттям TaCтощо, чистота нижче 5 ppm, може задовольнити вимоги замовника.
Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Перевага показана на зображенні нижче:
Покриття з карбіду танталу (TaC) привернуло увагу завдяки своїй високій температурі плавлення до 3880°C, чудовій механічній міцності, твердості та стійкості до термічних ударів, що робить його привабливою альтернативою процесам епітаксії складних напівпровідників з вищими температурними вимогами. наприклад система Aixtron MOCVD і процес епітаксії SiC LPE. Він також має широке застосування в процесі вирощування кристалів SiC методом PVT.
●Температурна стабільність
●Надвисока чистота
●Стійкість до H2, NH3, SiH4,Si
●Стійкість до термозапасу
●Сильна адгезія до графіту
●Конформне покриття покриття
● Розмір до 750 мм в діаметрі (єдиний виробник в Китаї досягає такого розміру)
● Індуктивний нагрівач
● Резистивний нагрівальний елемент
● Тепловий екран
Фізичні властивості покриття TaC | |
Щільність | 14,3 (г/см³) |
Питома випромінювальна здатність | 0.3 |
Коефіцієнт теплового розширення | 6.3 10-6/К |
Твердість (HK) | 2000 HK |
опір | 1×10-5Ом*см |
Термостабільність | <2500 ℃ |
Розмір графіту змінюється | -10~-20 мкм |
Товщина покриття | Типове значення ≥20um (35um±10um) |
елемент | Атомний відсоток | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Середній | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Як провідний виробник і постачальник кільцевих виробів із покриттям TaC у Китаї, VeTek Semiconductor зосереджується на дослідженнях і розробках та виробництві різноманітних продуктів покриття TaC. Як основні споживачі продукції TaC Coating, європейські та американські виробники дали високу оцінку нашим покриттям. Ласкаво просимо на подальшу консультацію.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor – це китайська компанія, яка є виробником і постачальником GaN епітаксійного приймача світового рівня. Ми тривалий час працюємо в напівпровідниковій промисловості, такій як покриття з карбіду кремнію та епітаксія GaN. Ми можемо надати вам відмінну продукцію та вигідні ціни. VeTek Semiconductor сподівається стати вашим довгостроковим партнером.
ДетальнішеНадіслати запитeTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor — це графітовий лоток, покритий карбідом танталу для епітаксіального росту карбіду кремнію для покращення якості та продуктивності пластини. VeTek вибрано через його передову технологію покриття та довговічні рішення, які забезпечують чудові результати епітаксії SiC та подовжений термін служби чутливого елемента. Чекаємо на ваші подальші запити.
ДетальнішеНадіслати запитЯк провідний виробник напрямних кілець із покриттям TaC у Китаї, VeTek Semiconductor напрямні кільця з покриттям TaC є важливими компонентами в обладнанні MOCVD, забезпечуючи точну та стабільну подачу газу під час епітаксійного росту, і є незамінним матеріалом для епітаксійного росту напівпровідників. Ласкаво просимо проконсультуватися з нами.
ДетальнішеНадіслати запитЯк професійний інноватор і лідер у виробництві кільця з покриттям з карбіду танталу в Китаї, напівпровідникове кільце з покриттям з карбіду танталу VeTek відіграє незамінну роль у зростанні кристалів SiC завдяки чудовій стійкості до високих температур, зносостійкості та відмінній теплопровідності. Ласкаво просимо до подальшої консультації.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є професійним виробником і лідером продукції з пористого карбіду танталу в Китаї. Пористий карбід танталу зазвичай виготовляється методом хімічного осадження з парової фази (CVD), що забезпечує точний контроль розміру та розподілу його пор, і є матеріалом, призначеним для екстремальних високих температур. Ласкаво просимо до подальшої консультації.
ДетальнішеНадіслати запит