Китай Твердий карбід кремнію Виробник, Постачальник, Завод

Твердий карбід кремнію VeTek Semiconductor є важливим керамічним компонентом в обладнанні для плазмового травлення, твердий карбід кремнію (CVD карбід кремнію) частини обладнання для травлення включаютькільця фокусування, газова душова насадка, піддон, крайові кільця тощо. Завдяки низькій реакційній здатності та провідності твердого карбіду кремнію (CVD карбіду кремнію) до хлор- та фторвмісних травильних газів це ідеальний матеріал для фокусувальних кілець та іншого обладнання для плазмового травлення. компоненти.

Наприклад, кільце фокусування є важливою частиною, яка розміщується поза пластиною та безпосередньо контактує з пластиною, шляхом подачі напруги на кільце для фокусування плазми, що проходить через кільце, таким чином фокусуючи плазму на пластині для покращення однорідності обробки. Традиційне фокусне кільце виготовляється з силікону абокварц, провідний кремній як звичайний матеріал кільця фокусування, він майже близький до провідності кремнієвих пластин, але недоліком є поганий опір травленню у фторовмісній плазмі, матеріали деталей машин для травлення, які часто використовуються протягом певного періоду часу, будуть серйозними явище корозії, що серйозно знижує його ефективність виробництва.

Sкільце фокусування зі старого SiCПринцип роботи：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Порівняння кільця фокусування на основі Si та кільця фокусування CVD SiC:

Порівняння кільця фокусування на основі Si та кільця фокусування CVD SiC
Пункт	І	CVD SiC
Щільність (г/см³)	2.33	3.21
Ширина забороненої зони (еВ)	1.12	2.3
Теплопровідність (Вт/см℃)	1.5	5
КТР (х10^-6/℃)	2.6	4
Модуль пружності (ГПа)	150	440
Твердість (ГПа)	11.4	24.5
Стійкість до зношування та корозії	Бідний	Чудово

VeTek Semiconductor пропонує передові деталі з твердого карбіду кремнію (CVD карбіду кремнію), такі як фокусувальні кільця SiC для напівпровідникового обладнання. Наші фокусувальні кільця з твердого карбіду кремнію перевершують традиційний кремній за механічною міцністю, хімічною стійкістю, теплопровідністю, довговічністю при високій температурі та стійкістю до іонного травлення.

Основні характеристики наших кілець фокусування SiC включають:

Висока щільність для зниження швидкості травлення.

Відмінна ізоляція з високою шириною забороненої зони.

Висока теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення.

Висока стійкість до механічних впливів і еластичність.

Висока твердість, зносостійкість і стійкість до корозії.

Виготовлено з використаннямплазмове хімічне осадження з парової фази (PECVD)Наші фокусувальні кільця SiC відповідають зростаючим вимогам процесів травлення у виробництві напівпровідників. Вони розроблені, щоб витримувати більшу потужність і енергію плазми, зокрема вємнісний зв'язок плазми (CCP)системи.

Фокусуючі кільця VeTek Semiconductor SiC забезпечують виняткову продуктивність і надійність у виробництві напівпровідникових пристроїв. Вибирайте наші компоненти SiC, щоб отримати високу якість та ефективність.

View as

Суцільний носій для пластин SiC

Твердий носій для пластин із SiC від VeTek Semiconductor розроблений для високотемпературних та корозійно-стійких середовищ у епітаксіальних процесах напівпровідників і підходить для всіх типів процесів виробництва пластин з високими вимогами до чистоти. VeTek Semiconductor є провідним постачальником носіїв для пластин у Китаї та сподівається стати вашим довгостроковим партнером у галузі напівпровідників.

Детальніше Надіслати запит

Дископодібна душова лійка з масиву SiC

VeTek Semiconductor є провідним виробником напівпровідникового обладнання в Китаї, а також професійним виробником і постачальником дискової душової лійки з твердого SiC. Наша душова насадка у формі диска широко використовується у виробництві осадження тонких плівок, наприклад у процесі CVD, для забезпечення рівномірного розподілу реакційного газу та є одним із основних компонентів CVD-печі.

Детальніше Надіслати запит

SiC ущільнювальна частина

Як передовий виробник ущільнювальних частин із SiC та фабрика в Китаї. Ущільнювальна деталь VeTek Semiconducto SiC — це високоефективний ущільнювальний компонент, який широко використовується в обробці напівпровідників та в інших процесах при екстремально високих температурах і високому тиску. Ласкаво просимо до подальшої консультації.

Детальніше Надіслати запит

Лійка для душу з карбіду кремнію

VeTek Semiconductor є провідним виробником і постачальником душових насадок з карбіду кремнію в Китаї. Душова лійка SiC має чудову стійкість до високих температур, хімічну стабільність, теплопровідність і хороші характеристики газорозподілу, що дозволяє досягти рівномірного розподілу газу та покращити якість плівки. Тому його зазвичай використовують у високотемпературних процесах, таких як процеси хімічного осадження з парової фази (CVD) або фізичного осадження з парової фази (PVD). Ласкаво просимо до подальшої консультації.

Детальніше Надіслати запит

Ущільнювальне кільце з карбіду кремнію

Як професійний виробник і завод у Китаї з ущільнювального кільця з карбіду кремнію, VeTek Semiconductor ущільнювальне кільце з карбіду кремнію широко використовується в обладнанні для обробки напівпровідників завдяки чудовій термостійкості, стійкості до корозії, механічній міцності та теплопровідності. Він особливо підходить для процесів із застосуванням високотемпературних і реактивних газів, таких як CVD, PVD і плазмове травлення, і є ключовим вибором матеріалу в процесі виробництва напівпровідників. Ваші подальші запити вітаються.

Детальніше Надіслати запит

Блок CVD SiC для вирощування кристалів SiC

VeTek Semiconductor зосереджується на дослідженні, розробці та індустріалізації об’ємних джерел CVD-SiC, покриттів CVD SiC і CVD TaC покриттів. Взявши блок CVD SiC для SiC Crystal Growth як приклад, технологія обробки продукту є передовою, швидкість росту висока, стійкість до високих температур і стійкість до корозії сильні. Ласкаво просимо до запиту.

Детальніше Надіслати запит

<1 2 3 >

Як професійний Твердий карбід кремнію виробник і постачальник у Китаї, ми маємо власну фабрику. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги відповідно до конкретних потреб вашого регіону, чи бажаєте придбати вдосконалений і міцний Твердий карбід кремнію, виготовлений у Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.