додому > Продукти > Покриття з карбіду кремнію

Китай Покриття з карбіду кремнію Виробник, Постачальник, Завод

VeTek Semiconductor спеціалізується на виробництві надчистих покриттів з карбіду кремнію, ці покриття призначені для нанесення на компоненти з очищеного графіту, кераміки та тугоплавких металів.

Наші покриття високої чистоти в першу чергу призначені для використання в напівпровідниковій та електронній промисловості. Вони служать захисним шаром для носіїв пластин, токоприймачів і нагрівальних елементів, захищаючи їх від корозійних і реактивних середовищ, які зустрічаються в таких процесах, як MOCVD і EPI. Ці процеси є невід’ємною частиною обробки пластин і виробництва пристроїв. Крім того, наші покриття добре підходять для застосування у вакуумних печах і нагріванні зразків, де стикаються з високим вакуумом, реактивними та кисневими середовищами.

У VeTek Semiconductor ми пропонуємо комплексне рішення з передовими можливостями машинного цеху. Це дозволяє нам виготовляти базові компоненти з графіту, кераміки або тугоплавких металів і наносити керамічні покриття SiC або TaC власними силами. Ми також надаємо послуги з нанесення покриття на надані клієнтом деталі, забезпечуючи гнучкість для задоволення різноманітних потреб.

Наші продукти з покриттям з карбіду кремнію широко використовуються в епітаксії Si, епітаксії SiC, системі MOCVD, процесу RTP/RTA, процесі травлення, процесі травлення ICP/PSS, процесі різних типів світлодіодів, включаючи сині та зелені світлодіоди, ультрафіолетові світлодіоди та глибоке УФ. Світлодіод тощо, який адаптований до обладнання LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI тощо.


Частини реактора, які ми можемо зробити:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Покриття з карбіду кремнію має кілька унікальних переваг:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Параметр покриття з карбіду кремнію VeTek Semiconductor:

Основні фізичні властивості CVD покриття SiC
Власність Типове значення
Кристалічна структура FCC β-фаза полікристалічна, переважно (111) орієнтована
Щільність 3,21 г/см³
Твердість Твердість за Віккерсом 2500 (навантаження 500 г)
Розмір зерна 2~10 мкм
Хімічна чистота 99,99995%
Теплоємність 640 Дж·кг-1·K-1
Температура сублімації 2700 ℃
Міцність на згин 415 МПа RT 4-точковий
Модуль Юнга 430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃
Теплопровідність 300 Вт·м-1·K-1
Теплове розширення (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Вафельний патрон з карбіду кремнію

Вафельний патрон з карбіду кремнію

Як провідний виробник і постачальник карбідокремнієвих вафельних патронів у Китаї, карбідокремнієвий вафельний патрон компанії VeTek Semiconductor відіграє незамінну роль у процесі епітаксійного росту завдяки чудовій стійкості до високих температур, стійкості до хімічної корозії та стійкості до термічного удару. Ласкаво просимо до подальшої консультації.

ДетальнішеНадіслати запит
Лійка для душу з карбіду кремнію

Лійка для душу з карбіду кремнію

VeTek Semiconductor є провідним виробником і постачальником душових насадок з карбіду кремнію в Китаї. Душова лійка SiC має чудову стійкість до високих температур, хімічну стабільність, теплопровідність і хороші характеристики газорозподілу, що дозволяє досягти рівномірного розподілу газу та покращити якість плівки. Тому його зазвичай використовують у високотемпературних процесах, таких як процеси хімічного осадження з парової фази (CVD) або фізичного осадження з парової фази (PVD). Ласкаво просимо до подальшої консультації.

ДетальнішеНадіслати запит
Ущільнювальне кільце з карбіду кремнію

Ущільнювальне кільце з карбіду кремнію

Як професійний виробник і завод у Китаї з ущільнювального кільця з карбіду кремнію, VeTek Semiconductor ущільнювальне кільце з карбіду кремнію широко використовується в обладнанні для обробки напівпровідників завдяки чудовій термостійкості, стійкості до корозії, механічній міцності та теплопровідності. Він особливо підходить для процесів із застосуванням високотемпературних і реактивних газів, таких як CVD, PVD і плазмове травлення, і є ключовим вибором матеріалу в процесі виробництва напівпровідників. Ваші подальші запити вітаються.

ДетальнішеНадіслати запит
Тримач для пластин із покриттям SiC

Тримач для пластин із покриттям SiC

VeTek Semiconductor є професійним виробником і лідером у виробництві тримачів пластин із SiC покриттям у Китаї. Тримач для пластин із покриттям SiC — це тримач для пластин для процесу епітаксії при обробці напівпровідників. Це незамінний пристрій, який стабілізує пластину і забезпечує рівномірне зростання епітаксійного шару. Ласкаво просимо до подальшої консультації.

ДетальнішеНадіслати запит
Підставка для вафель Epi

Підставка для вафель Epi

VeTek Semiconductor є професійним виробником і фабрикою Epi Wafer Holder у Китаї. Epi Wafer Holder — це тримач пластин для процесу епітаксії при обробці напівпровідників. Це ключовий інструмент для стабілізації пластини та забезпечення рівномірного росту епітаксійного шару. Він широко використовується в обладнанні для епітаксії, такому як MOCVD і LPCVD. Це незамінний пристрій у процесі епітаксії. Ласкаво просимо до подальшої консультації.

ДетальнішеНадіслати запит
Носій пластин Aixtron Satellite

Носій пластин Aixtron Satellite

Як професійний виробник Aixtron Satellite Wafer Carrier і інноватор у Китаї, VeTek Semiconductor Aixtron Satellite Wafer Carrier є носієм пластин, який використовується в обладнанні AIXTRON, в основному використовується в процесах MOCVD при обробці напівпровідників, і особливо підходить для високотемпературної та високоточної обробки. процеси обробки напівпровідників. Носій може забезпечити стабільну підтримку пластини та рівномірне осадження плівки під час епітаксійного росту MOCVD, що є важливим для процесу осадження шарів. Ласкаво просимо до подальшої консультації.

ДетальнішеНадіслати запит
Як професійний Покриття з карбіду кремнію виробник і постачальник у Китаї, ми маємо власну фабрику. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги відповідно до конкретних потреб вашого регіону, чи бажаєте придбати вдосконалений і міцний Покриття з карбіду кремнію, виготовлений у Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept