Матеріалом епітаксійного шару карбіду кремнію є карбід кремнію, який зазвичай використовується для виготовлення потужних електронних пристроїв і світлодіодів. Він широко використовується в напівпровідниковій промисловості завдяки чудовій термічній стабільності, механічній міцності та високій електропровідності.
Висока чистота: епітаксійний шар кремнію, вирощений методом хімічного осадження з парової фази (CVD), має надзвичайно високу чистоту, кращу площинність поверхні та меншу щільність дефектів, ніж традиційні пластини.
Твердий карбід кремнію має чудові властивості, такі як висока температурна стабільність, висока твердість, хороша стійкість до стирання та хороша хімічна стабільність, тому він має широкий спектр застосування. Нижче наведено деякі застосування твердого карбіду кремнію: