Під час процесу епітаксійного росту SiC може виникнути руйнування графітової суспензії з покриттям SiC. У цьому документі проведено ретельний аналіз явища руйнування графітової суспензії з покриттям SiC, яке в основному включає два фактори: руйнування епітаксіального газу SiC та руйнування покриття ......
ДетальнішеПористий карбід танталу від VeTek Semiconductor, як нове покоління матеріалу для вирощування кристалів SiC, має багато чудових властивостей і відіграє ключову роль у різноманітних технологіях обробки напівпровідників.
ДетальнішеПринцип роботи епітаксіальної печі полягає в осадженні напівпровідникових матеріалів на підкладку під високою температурою та високим тиском. Епітаксійне вирощування кремнію полягає у вирощуванні шару кристала з такою ж орієнтацією кристала, що й підкладка, і різної товщини на монокристалічній підкл......
ДетальнішеХімічне осадження з парової фази (CVD) у виробництві напівпровідників використовується для осадження тонкоплівкових матеріалів у камері, зокрема SiO2, SiN тощо, і зазвичай використовуються типи PECVD і LPCVD. Регулюючи температуру, тиск і тип реакційного газу, CVD досягає високої чистоти, одноріднос......
Детальніше