Сусцептори Aixtron G5 MOCVD

VeTek Semiconductor є провідним виробником і інноватором електричних точок Aixtron G5 MOCVD у Китаї. Протягом багатьох років ми спеціалізуємося на матеріалах для покриття SiC. Ми пропонуємо електричні чутливі елементи Aixtron G5 MOCVD, розроблені спеціально для реактора Aixtron G5 MOCVD. Цей комплект Aixtron G5 MOCVD Susceptors є універсальним та ефективним рішенням для виробництва напівпровідників із оптимальним розміром, сумісністю та високою продуктивністю. Ласкаво просимо до нас із запитом.

Надіслати запит

Опис продукту

Як професійний виробник, VeTek Semiconductor хоче надати вам чутливі елементи Aixtron G5 MOCVD, такі як графітові деталі з покриттям SiC, графітові деталі з покриттям TaC, твердий SiC/CVD SiC, кварцові деталі. Ласкаво просимо до нас.

Aixtron G5 — система осадження складних напівпровідників. AIX G5 MOCVD використовує перевірену виробничу платформу планетарного реактора AIXTRON із повністю автоматизованою системою передачі картриджа (C2C). Досягнуто найбільшого в галузі розміру однієї порожнини (8 x 6 дюймів) і найбільшої виробничої потужності. Він пропонує гнучкі 6- і 4-дюймові конфігурації, призначені для мінімізації виробничих витрат при збереженні відмінної якості продукції. Планетарна CVD-система з теплими стінками характеризується вирощуванням кількох пластин в одній печі та високою продуктивністю. VeTek Semiconductor пропонує повний набір аксесуарів для системи Aixtron G5 MOCVD, Aixtron G5 MOCVD Susceptors складається з таких аксесуарів:

Упорна частина, анти-обертання	Розподільне кільце	Стеля	Тримач, стельовий, ізольований	Накладка, зовнішня
Кришка, внутрішня	Кільце кришки	Диск	Висувний захисний диск	Pin
Булавка-шайба	Планетарний диск	Вхідний кільцевий зазор колектора	Верхній випускний колектор	Затвор
Опорне кільце	Опорна трубка

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor

Основні фізичні властивості покриття CVD SiC:

Основні фізичні властивості CVD покриття SiC
Власність	Типове значення
Кристалічна структура	FCC β-фаза полікристалічна, переважно (111) орієнтована
Щільність	3,21 г/см³
Твердість	Твердість за Віккерсом 2500 (навантаження 500 г)
Розмір зерна	2~10 мкм
Хімічна чистота	99,99995%
Теплоємність	640 Дж·кг-1·K-1
Температура сублімації	2700 ℃
Сила гнучкості	415 МПа RT 4-точковий
Модуль Юнга	430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃
Теплопровідність	300 Вт·м-1·K-1
Теплове розширення (CTE)	4,5×10-6K-1