CVD покриття SiC Епітаксія

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor від VeTek Semiconductor — це прецизійний інструмент, розроблений для обробки та обробки напівпровідникових пластин. Цей SiC Coating Epitaxi Susceptor відіграє важливу роль у сприянні росту тонких плівок, епішарів та інших покриттів і може точно контролювати температуру та властивості матеріалу. Ласкаво просимо до ваших подальших запитів.

Надіслати запит

Опис продукту

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor є типомMOCVD LED Епісуцептор, який відіграє центральну роль у CVD реакторі. Як Epi Susceptor, він є не тільки джерелом тепла, але також забезпечує стабільну опорну платформу для підкладки під час процесу осадження.SiC покриттяможе ефективно зменшити окислення та забруднення графітового чутливого елемента в умовах високої температури, забезпечуючи тим самим високу чистоту нанесеного матеріалу.

Базовийфізичні властивості CVD покриття SiC:

Основні фізичні властивості CVD покриття SiC
Власність	Типове значення
Кристалічна структура	FCC β-фаза полікристалічна, переважно (111) орієнтована
Щільність	3,21 г/см³
Твердість	Твердість за Віккерсом 2500 (навантаження 500 г)
Розмір зерна	2~10 мкм
Хімічна чистота	99,99995%
Теплоємність	640 Дж·кг^-1·К^-1
Температура сублімації	2700 ℃
Міцність на згин	415 МПа RT 4-точковий
Модуль Юнга	430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃
Теплопровідність	300 Вт·м^-1·К^-1
Теплове розширення (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Переваги продукту CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor:

● Точне осадження: За допомогою CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ви можете досягти точно контрольованого осадження тонких плівок і покриттів для отримання високоякісних і повторюваних результатів.

● Зменшене забруднення: покриття SiC мінімізує ризик забрудненняЕпісуцепторна основі графіту, що забезпечує чистоту нанесеного матеріалу.

● Довговічність: покриття SiC підвищує стійкість до окислення та стійкість до хімічної корозії Graphite Epitaxy Susceptor, подовжуючи термін служби та вищу надійність.

VeTek Semiconductorпрагне надавати високоякісні продукти та конкурентоспроможні ціни. Чи так цеЯкщо приймач EPIабо високочистий графітовий EPI Susceptor, ми можемо задовольнити ваші потреби. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

VeTek SemiconductorCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Магазини продукції: