Aixtron MOCVD рецептор

Суцептори виробництваVetek Semiconductorвиготовлені з графітової підкладки та матеріалу покриття з карбіду кремнію (SiC). Враховуючи вищу зносостійкість, стійкість до корозії та надзвичайно високу твердість матеріалу SiC, він особливо підходить для використання в суворих технологічних середовищах. Таким чином, сусцептори виробництва Vetek Semiconductor можна безпосередньо використовувати у високотемпературних процесах MOCVD без додаткової обробки поверхні.

Сусцептори є ключовими компонентами у виробництві напівпровідників, особливо в обладнанні MOCVD для процесів осадження тонких плівок. Головна рольПриймач Aixtron SiCу процесі MOCVD полягає у виконанні напівпровідникових пластин, забезпеченні рівномірного та високоякісного осадження тонких плівок шляхом забезпечення рівномірного розподілу тепла та реакційного середовища, тим самим досягаючи високоякісного виробництва тонких плівок.

Aixtron MOCVD рецепторзазвичай використовується для підтримки та фіксації основи напівпровідникових пластин для забезпечення стабільності пластини під час процесу осадження. У той же час поверхневе покриття Aixtron MOCVD Susceptor виготовлено з карбіду кремнію (SiC), матеріалу з високою теплопровідністю. Покриття SiC забезпечує рівномірну температуру на поверхні пластини, а рівномірний нагрів необхідний для отримання високоякісних плівок.

Крім того,Aixtron MOCVD рецепторми виробляємо, відіграє більшу роль у контролі потоку та розподілу реактивних газів завдяки оптимізованій конструкції матеріалів. Уникайте вихрових струмів і градієнтів температури для досягнення рівномірного осадження плівки.

Що ще важливіше, у процесі MOCVD матеріал покриття з карбіду кремнію (SiC) має стійкість до корозії, томуVetek Semiconductor'sAixtron MOCVD рецептортакож може витримувати високі температури та корозійні гази.

Основні фізичні властивостіSIC ПОКРИТТЯ:

Магазини VeTek Semiconductor Wafer Boat:

Огляд мережі індустрії епітаксії напівпровідникових мікросхем: