П'єдестал з плавленого кварцу ALD

П’єдестал з плавленого кварцу VeTek Semiconductor ALD відіграє ключову роль у процесі виробництва напівпровідників як опорна структура длякварцовий човен, який використовується для утриманнявафельний. Fused Quartz Pedestal допомагає досягти рівномірного осадження плівки, підтримуючи стабільну температуру, що безпосередньо впливає на продуктивність і надійність напівпровідникових пристроїв. Крім того, Quartz Pedestal забезпечує рівномірний розподіл тепла та світла в робочій камері, тим самим покращуючи загальну якість процесу осадження.

Переваги матеріалу підставки з плавленого кварцу ALD

Стійкість до високих температур: Точка розм’якшення п’єдесталу з плавленого кварцу досягає приблизно 1730°C, він може витримувати високу температуру роботи від 1100°C до 1250°C протягом тривалого часу, а також екстремальних температур до 1450°C. на короткий час.

Чудова стійкість до корозії: Плавлений кварц дуже хімічно інертний майже до всіх кислот, крім фтористоводневої. Його кислотостійкість у 30 разів вища, ніж у кераміки, і в 150 разів вища, ніж у нержавіючої сталі. Плавлений кварц хімічно не має собі рівних при високих температурах, що робить його ідеальним матеріалом для складних хімічних процесів.

Термостабільність: Ключовою особливістю матеріалу Fused Quartz Pedestal є його надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення. Це означає, що він легко витримає різкі коливання температури без тріщин. Наприклад, плавлений кремнеземний кварц можна швидко нагріти до 1100°C і занурити безпосередньо в холодну воду без пошкоджень, що є важливою особливістю в умовах високої напруги виробництва.

Суворий виробничий процес: Процес виробництва постаментів із плавленого кремнезему суворо відповідає високим стандартам якості. У процесі виробництва використовуються процеси гарячого формування та зварювання, які зазвичай виконуються в чистих приміщеннях класу 10 000. Після цього підставку з плавленого кварцового скла ретельно очищають надчистою водою (18 МОм), щоб забезпечити чистоту продукту та оптимальну продуктивність. Кожен готовий продукт ретельно перевіряється, очищається та упаковується в чистій кімнаті класу 1000 або вище, щоб відповідати високим стандартам напівпровідникової промисловості.

Високочистий непрозорий кремнеземний кварцовий матеріал

Підставка з плавленого кварцу VeTeksemi ALD використовує непрозорий кварцовий матеріал високої чистоти для ефективної ізоляції тепла та світла. Його відмінні теплозахисні та світлозахисні властивості дозволяють підтримувати рівномірний розподіл температури в технологічній камері, забезпечуючи однорідність і консистенцію тонкоїосадження плівкина поверхні вафелі.

Поля застосування

П'єдестали з плавленого кварцу широко використовуються в багатьох галузях напівпровідникової промисловості завдяки своїм чудовим характеристикам. впроцес атомно-шарового осадження (ALD)., він підтримує точний контроль росту плівки та забезпечує вдосконалення напівпровідникових пристроїв. впроцес хімічного осадження з газової фази під низьким тиском (LPCVD)., термостабільність і світлозахисна здатність кварцової підставки високої чистоти забезпечують гарантії рівномірного осадження тонких плівок, тим самим покращуючи продуктивність пристрою та продуктивність.

Крім того, у процесі дифузійної пластини стійкість до високих температур і стійкість до хімічної корозії Fused Quartz Pedestal забезпечують надійність і постійність процесу легування напівпровідникового матеріалу. Ці ключові процеси визначають електричні характеристики напівпровідникових пристроїв, а високоякісні матеріали з плавленого кварцу відіграють незамінну роль у досягненні найкращих результатів цих процесів.

Магазини VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal: