Сусцептор MOCVD з покриттям TaC

VeTek Semiconductor є комплексним постачальником, який займається дослідженнями, розробкою, виробництвом, проектуванням і продажем покриттів TaC і деталей з покриттям SiC. Наш досвід полягає у виробництві найсучаснішого MOCVD-сусцептора з покриттям TaC, який відіграє життєво важливу роль у процесі світлодіодної епітаксії. Запрошуємо вас обговорити з нами запити та додаткову інформацію.

Надіслати запит

Опис продукту

VeTek Semiconductor є провідним китайським виробником, постачальником і експортером, що спеціалізується на MOCVD-сусцепторі з покриттям TaC. Ласкаво просимо вас прийти на наш завод, щоб придбати найновіші, низькоякісні та високоякісні MOCVD-суцептори з покриттям TaC. Будемо раді співпраці з вами.

Світлодіодна епітаксія стикається з такими проблемами, як контроль якості кристалів, вибір і підбір матеріалів, структурний дизайн і оптимізація, контроль процесу і узгодженість, а також ефективність відведення світла. Вибір правильного матеріалу-носія пластини для епітаксії має вирішальне значення, а його покриття тонкою плівкою з карбіду танталу (TaC) надає додаткові переваги.

Вибираючи матеріал для епітаксійної пластини, необхідно враховувати кілька ключових факторів:

Стійкість до температури та хімічна стабільність: процеси світлодіодної епітаксії включають високі температури та можуть включати використання хімікатів. Тому необхідно вибирати матеріали з хорошою термостійкістю та хімічною стабільністю, щоб забезпечити стабільність носія у високотемпературних та хімічних середовищах.

Рівність поверхні та зносостійкість: Поверхня носія епітаксійної пластини повинна мати добру площину, щоб забезпечити рівномірний контакт і стабільне зростання епітаксійної пластини. Крім того, зносостійкість важлива для запобігання пошкодження поверхні та стирання.

Теплопровідність: вибір матеріалу з хорошою теплопровідністю допомагає ефективно розсіювати тепло, підтримуючи стабільну температуру зростання для шару епітаксії та покращуючи стабільність і послідовність процесу.

У цьому відношенні покриття епітаксійної пластини з TaC має наступні переваги:

Високотемпературна стабільність: покриття TaC демонструє чудову високотемпературну стабільність, що дозволяє йому зберігати свою структуру та продуктивність під час процесів високотемпературної епітаксії та забезпечує чудову температурну стійкість.

Хімічна стабільність: покриття TaC стійке до корозії, викликаної звичайними хімічними речовинами та атмосферою, захищаючи носій від хімічної деградації та збільшуючи його довговічність.

Твердість і зносостійкість: покриття TaC має високу твердість і зносостійкість, зміцнюючи поверхню епітаксійної пластини, зменшуючи пошкодження і знос, а також подовжуючи термін її служби.

Теплопровідність: покриття TaC демонструє хорошу теплопровідність, сприяючи розсіюванню тепла, зберігаючи стабільну температуру зростання для шару епітаксії та покращуючи стабільність і послідовність процесу.

Тому вибір епітаксійної пластини з покриттям TaC допомагає вирішити проблеми світлодіодної епітаксії, відповідаючи вимогам високотемпературного та хімічного середовища. Це покриття пропонує такі переваги, як високотемпературна стабільність, хімічна стабільність, твердість і зносостійкість, а також теплопровідність, сприяючи покращенню продуктивності, терміну служби та ефективності виробництва носія епітаксійної пластини.

Основні фізичні властивості покриття TaC:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність	14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність	0.3
Коефіцієнт теплового розширення	6.3 10-6/К
Твердість (HK)	2000 HK
опір	1×10-5 Ом*см
Термостабільність	<2500 ℃
Розмір графіту змінюється	-10~-20 мкм
Товщина покриття	Типове значення ≥20um (35um±10um)