Що таке покриття CVD TAC?

Як ми всі знаємо,TaCмає температуру плавлення до 3880°С, висока механічна міцність, твердість, стійкість до термічних ударів; хороша хімічна інертність і термічна стійкість до аміаку, водню, кремнійвмісних парів при високих температурах.

Покриття з карбіду танталу на мікроскопічному перерізі

Покриття CVD TAC, хімічне осадження з газової фази (CVD).покриття з карбіду танталу (TaC)., це процес формування міцного покриття високої щільності на підкладці (зазвичай графіті). Цей метод передбачає нанесення TaC на поверхню підкладки при високих температурах, у результаті чого утворюється покриття з чудовою термічною та хімічною стійкістю.

Основні переваги покриттів CVD TaC включають:

Надзвичайно висока термічна стабільність: може витримувати температуру понад 2200°C.

Хімічна стійкість: може ефективно протистояти агресивним хімічним речовинам, таким як водень, аміак і пари кремнію.

Сильна адгезія: забезпечує тривалий захист без розшарування.

Висока чистота: мінімізує домішки, що робить його ідеальним для застосування в напівпровідниках.

Ці покриття особливо підходять для середовищ, які вимагають високої довговічності та стійкості до екстремальних умов, таких як виробництво напівпровідників і високотемпературні промислові процеси.

У промисловому виробництві графітові (вуглець-вуглецеві композитні) матеріали з покриттям TaC, швидше за все, замінять традиційний графіт високої чистоти, покриття pBN, покриття SiC тощо. Крім того, в галузі аерокосмічної промисловості TaC має великий потенціал для використовуватися як високотемпературне антиокислювальне та антиабляційне покриття та має широкі перспективи застосування. Однак існує ще багато проблем для отримання щільного, рівномірного, нелущиться покриття TaC на поверхні графіту та сприяння масовому промисловому виробництву.

У цьому процесі дослідження механізму захисту покриття, інноваційний процес виробництва та конкуренція з найкращими зарубіжними рівнями мають вирішальне значення для третього поколіннявирощування та епітаксія напівпровідникових кристалів.

VeTek Semiconductor є професійним китайським виробником продуктів із покриттям з карбіду танталу CVD, таких якТигель для покриття CVD TaC, CVD TaC Coating Wafer Carrier, CVD TaC Coating Carrier,Покриття CVD TaC, Кільце покриття CVD TaC. VeTek Semiconductor прагне надавати передові рішення для різних покриттів для напівпровідникової промисловості.

Якщо у вас виникли запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Моб/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

Електронна адреса: anny@veteksemi.com