Сусцептор покриття TaC
  • Сусцептор покриття TaCСусцептор покриття TaC
  • Сусцептор покриття TaCСусцептор покриття TaC
  • Сусцептор покриття TaCСусцептор покриття TaC

Сусцептор покриття TaC

VeTek Semiconductor представляє TaC Coating Susceptor. Завдяки винятковому покриттю TaC цей чутливий елемент пропонує безліч переваг, які відрізняють його від звичайних рішень. Бездоганно інтегруючись у існуючі системи, TaC Coating Susceptor від VeTek Semiconductor гарантує сумісність та ефективну роботу. Його надійні характеристики та високоякісне покриття TaC постійно забезпечують виняткові результати в процесах епітаксії SiC. Ми прагнемо надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами та сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту


Токоприймач і кільце з покриттям TaC компанії VeTek Semiconductor працюють разом у епітаксіальному реакторі карбіду кремнію LPE:

Стійкість до високих температур: Токоприймач покриття TaC має чудову стійкість до високих температур, здатний витримувати екстремальні температури до 1500°C у реакторі LPE. Це гарантує, що обладнання та компоненти не деформуються та не пошкоджуються під час тривалої експлуатації.

Хімічна стабільність. Сусцептор із покриттям TaC надзвичайно добре працює в корозійному середовищі зростання карбіду кремнію, ефективно захищаючи компоненти реактора від корозійного хімічного впливу, тим самим подовжуючи термін їх служби.

Термічна стабільність: Токоприймач покриття TaC має хорошу термічну стабільність, зберігаючи морфологію поверхні та шорсткість для забезпечення однорідності температурного поля в реакторі, що є корисним для високоякісного росту епітаксійних шарів карбіду кремнію.

Захист від забруднень: гладка поверхня з покриттям TaC і чудова продуктивність TPD (температурно-програмована десорбція) можуть мінімізувати накопичення та адсорбцію частинок і домішок усередині реактора, запобігаючи забрудненню епітаксіальних шарів.

Таким чином, токоприймач і кільце з покриттям TaC відіграють важливу захисну роль у реакторі для епітаксіального росту з карбіду кремнію LPE, забезпечуючи тривалу стабільну роботу обладнання та високоякісне зростання епітаксіальних шарів.


Параметр продукту TaC Coating Susceptor:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність 14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність 0.3
Коефіцієнт теплового розширення 6.3 10-6/К
Твердість (HK) 2000 HK
опір 1×10-5 Ом*см
Термостабільність <2500 ℃
Розмір графіту змінюється -10~-20 мкм
Товщина покриття Типове значення ≥20um (35um±10um)


Промисловий ланцюг:


Виробничий цех


Гарячі теги: TaC Coating Susceptor, Китай, Виробник, Постачальник, Фабрика, Індивідуальний, Купити, Розширений, Міцний, Зроблено в Китаї
Пов'язана категорія
Надіслати запит
Будь ласка, надішліть свій запит у формі нижче. Ми відповімо вам протягом 24 годин.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept