Сусцептор покриття TaC

VeTek Semiconductor представляє TaC Coating Susceptor. Завдяки винятковому покриттю TaC цей чутливий елемент пропонує безліч переваг, які відрізняють його від звичайних рішень. Бездоганно інтегруючись у існуючі системи, TaC Coating Susceptor від VeTek Semiconductor гарантує сумісність та ефективну роботу. Його надійні характеристики та високоякісне покриття TaC постійно забезпечують виняткові результати в процесах епітаксії SiC. Ми прагнемо надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами та сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Токоприймач і кільце з покриттям TaC компанії VeTek Semiconductor працюють разом у епітаксіальному реакторі карбіду кремнію LPE:

Стійкість до високих температур: Токоприймач покриття TaC має чудову стійкість до високих температур, здатний витримувати екстремальні температури до 1500°C у реакторі LPE. Це гарантує, що обладнання та компоненти не деформуються та не пошкоджуються під час тривалої експлуатації.

Хімічна стабільність. Сусцептор із покриттям TaC надзвичайно добре працює в корозійному середовищі зростання карбіду кремнію, ефективно захищаючи компоненти реактора від корозійного хімічного впливу, тим самим подовжуючи термін їх служби.

Термічна стабільність: Токоприймач покриття TaC має хорошу термічну стабільність, зберігаючи морфологію поверхні та шорсткість для забезпечення однорідності температурного поля в реакторі, що є корисним для високоякісного росту епітаксійних шарів карбіду кремнію.

Захист від забруднень: гладка поверхня з покриттям TaC і чудова продуктивність TPD (температурно-програмована десорбція) можуть мінімізувати накопичення та адсорбцію частинок і домішок усередині реактора, запобігаючи забрудненню епітаксіальних шарів.

Таким чином, токоприймач і кільце з покриттям TaC відіграють важливу захисну роль у реакторі для епітаксіального росту з карбіду кремнію LPE, забезпечуючи тривалу стабільну роботу обладнання та високоякісне зростання епітаксіальних шарів.

Параметр продукту TaC Coating Susceptor:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність	14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність	0.3
Коефіцієнт теплового розширення	6.3 10-6/К
Твердість (HK)	2000 HK
опір	1×10-5 Ом*см
Термостабільність	<2500 ℃
Розмір графіту змінюється	-10~-20 мкм
Товщина покриття	Типове значення ≥20um (35um±10um)