Тигель для покриття CVD TaC

Покриття TaC Rotation Susceptor відіграє ключову роль у процесах високотемпературного осадження, таких як CVD та MBE, і є важливим компонентом для обробки пластин у виробництві напівпровідників. Серед нихПокриття TaCмає чудову стійкість до високих температур, стійкість до корозії та хімічну стабільність, що забезпечує високу точність та високу якість обробки пластин.

CVD TaC Coating Crucible зазвичай складається з TaC покриття таграфітпідкладка. Серед них TaC є керамічним матеріалом з високою температурою плавлення з температурою плавлення до 3880 °C. Має надзвичайно високу твердість (твердість за Віккерсом до 2000 HV), стійкість до хімічної корозії та стійкість до окислення. Таким чином, покриття TaC є чудовим високотемпературним матеріалом у технології обробки напівпровідників.

Графітова підкладка має хорошу теплопровідність (теплопровідність становить близько 21 Вт/м·К) і чудову механічну стабільність. Ця характеристика визначає те, що графіт стає ідеальним покриттямпідкладка.

CVD TaC Coating Crucible в основному використовується в наступних технологіях обробки напівпровідників:

Виготовлення вафель: Тигель VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible має чудову стійкість до високих температур (температура плавлення до 3880°C) і стійкість до корозії, тому його часто використовують у ключових процесах виробництва пластин, таких як високотемпературне осадження з парової фази (CVD) та епітаксійне зростання. У поєднанні з чудовою структурною стабільністю продукту в умовах надвисокої температури це гарантує, що обладнання може стабільно працювати протягом тривалого часу в надзвичайно суворих умовах, тим самим ефективно покращуючи ефективність виробництва та якість пластин.

Процес епітаксіального росту: В епітаксіальних процесах, таких якхімічне осадження з парової фази (CVD)і молекулярно-променева епітаксія (MBE), CVD TaC Coating Crucible відіграє ключову роль у перенесенні. Його покриття TaC може не тільки підтримувати високу чистоту матеріалу за екстремальних температур і корозійної атмосфери, але й ефективно запобігати забрудненню реагентів на матеріалі та корозії реактора, забезпечуючи точність виробничого процесу та консистенцію продукту.

VeTek Semiconductor, провідний у Китаї виробник і лідер із покриттям CVD TaC, може надати індивідуальні продукти та технічні послуги відповідно до вимог вашого обладнання та процесу. Ми щиро сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі：

Фізичні властивості покриття TaC：

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible магазини: