SiC Coating Suceptor

Ви можете бути впевнені, купуючи чутливий пристрій для покриття SiC на нашому заводі.

Як виробник покриттів CVD SiC, компанія VeTek Semiconductor хоче надати вам токоприймачі для покриття SiC, які виготовлені з графіту високої чистоти та токоприймача для покриття SiC (нижче 5 ppm). Ласкаво просимо до нас.

У Vetek Semiconductor ми спеціалізуємося на технологічних дослідженнях, розробці та виробництві, пропонуючи ряд передових продуктів для галузі. Наша основна лінійка продуктів включає покриття CVD SiC + графіт високої чистоти, токоприймач покриття SiC, напівпровідниковий кварц, покриття CVD TaC + графіт високої чистоти, жорсткий фетр та інші матеріали.

Одним із наших флагманських продуктів є SiC Coating Susceptor, розроблений за інноваційною технологією, щоб відповідати суворим вимогам виробництва епітаксійних пластин. Епітаксійні пластини повинні демонструвати щільний розподіл довжини хвилі та низький рівень поверхневих дефектів, що робить наш спіраль із покриттям SiC важливим компонентом для досягнення цих важливих параметрів.

Переваги нашого SiC Coating Susceptor:

Захист основного матеріалу: покриття CVD SiC діє як захисний шар під час епітаксійного процесу, ефективно захищаючи основний матеріал від ерозії та пошкоджень, спричинених зовнішнім середовищем. Цей захисний захід значно продовжує термін служби обладнання.

Чудова теплопровідність: наше покриття CVD SiC має виняткову теплопровідність, ефективно передає тепло від основного матеріалу до поверхні покриття. Це підвищує ефективність управління температурою під час епітаксії, забезпечуючи оптимальні робочі температури для обладнання.

Покращена якість плівки: покриття CVD SiC забезпечує рівну та однорідну поверхню, створюючи ідеальну основу для росту плівки. Це зменшує кількість дефектів, що є результатом невідповідності решітки, покращує кристалічність і якість епітаксіальної плівки, і в кінцевому підсумку покращує її продуктивність і надійність.

Виберіть наш SiC Coating Susceptor для своїх потреб у виробництві епітаксійних пластин і отримайте переваги від покращеного захисту, чудової теплопровідності та покращеної якості плівки. Довіртеся інноваційним рішенням VeTek Semiconductor, щоб досягти успіху в галузі напівпровідників.

Основні фізичні властивості CVD покриття SiC:

Виробничі цехи:

Огляд мережі індустрії епітаксії напівпровідникових мікросхем: