Глиноземний керамічний вакуумний патрон

Алюмінієвий керамічний вакуумний патрон — це тримач для пластин для епітаксійних процесів при обробці напівпровідників. Це ключовий інструмент для стабілізації пластин і забезпечення рівномірного росту епітаксіальних шарів. Він широко використовується в епітаксіальному обладнанні, такому якMOCVDіLPCVD.

VaTek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck відіграє життєво важливу роль на стадіях розрідження та шліфування пластин у виробництві напівпровідників. Ці етапи передбачають точне зменшення товщинивафельна підкладкадля покращення розсіювання тепла мікросхеми, що важливо для підвищення ефективності та терміну служби напівпровідникових пристроїв.

Сумісний з декількома розмірами вафель: Керамічний вакуумний патрон VeTek Semiconductor з оксиду алюмінію розроблений для підтримки широкого діапазону розмірів пластин, включаючи 2, 3, 4, 5, 6, 8 і 12 дюймів. Ця адаптивність робить його придатним для різноманітних середовищ виробництва напівпровідників, забезпечуючи послідовну та надійну роботу пластин різних розмірів.

Чудовий склад матеріалу: Основа глиноземного керамічного вакуумного патрона виготовлена ​​з надзвичайно чистого 99,9999% глинозему (Al₂O₃), який забезпечує чудову стійкість до хімічного впливу та термостабільність. Поверхня патрона виконана з пористої тканиникарбід кремнію (SiC). Пористий керамічний матеріал має щільну і однорідну структуру, що підвищує його довговічність і експлуатаційні якості.

ПеревагиТехнологія пористої кераміки：

Чистота матеріалу та довговічність: Виготовлений із чистого глинозему на 99,99%, наш глиноземний керамічний вакуумний патрон протистоїть хімічному впливу та забезпечує чудову термічну стабільність, що робить його ідеальним для надзвичайно складних виробничих умов.

Оптимальна пористість і повітропроникність: Рівномірно розподілені мікропори забезпечують відмінну повітропроникність і рівномірну адсорбційну силу, що забезпечує плавну та стабільну роботу.

Покращена площинність і паралельність: Керамічні вакуумні патрони з мікропористого оксиду алюмінію мають відмінну площинність і паралельність, що забезпечує точне оброблення пластин і стабільність.

Індивідуальні можливості обслуговування: VeTekSemi може надати різні форми, які можна налаштувати, включаючи круглі, квадратні, кільцеві та інші конструкції, товщиною від 3 до 10 мм. Це налаштування гарантує, що наші глиноземно-керамічні вакуумні патрони відповідають конкретним потребам різних процесів виробництва напівпровідників і, безумовно, є вашим ідеальним вибором.

VeTek Semiconductorпрагне надавати передові технології та продуктові рішення для напівпровідникової промисловості, і ми щиро сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

TheХімічна формулаглиноземної кераміки：

VeTek SemiconductorМагазини керамічних вакуумних патронів: