Кінцевий ефектор обробки пластин

Кінцевий ефектор обробки пластин — це тип ручного робота, розроблений спеціально для напівпровідникової промисловості, який зазвичай використовується для обробки та передачівафлі. Середовище виробництва пластин вимагає надзвичайно високої чистоти, оскільки крихітні частинки або забруднювачі можуть призвести до руйнування чіпсів під час обробки. Керамічні матеріали широко використовуються у виготовленні цих рук завдяки своїм чудовим фізико-хімічним властивостям.

У порівнянні з традиційними металевими матеріалами перевагикерамікав матеріалах в основному відображені в таких аспектах:

    •Стійкість до корозії: Пластини піддаються впливу різних хімічних речовин під час виробничого процесу, а керамічні матеріали можуть ефективно протистояти корозії та забезпечувати тривале використання обладнання.

    •Низьке виділення часток: Оскільки кераміка має надзвичайно низьке виділення частинок, вона майже не утворює частинок під час процесу обробки, тим самим зменшуючи ризик забруднення пластини.

    •Хороша стійкість до високих температур: У деяких процесах пластини потрібно обробляти в середовищі з високою температурою, і висока термостійкість робота для роботи з пластинами з керамічних матеріалів дозволяє їм адаптуватися до таких суворих умов.

    •Електроізоляція: Кераміка є природним електричним ізолятором, який необхідний для процесів обробки, що включають струм, і може запобігти впливу статичної електрики на пластини.

Звичайне обладнання для обробки пластин виготовлено з алюмінію, човен VetekSemi Wafer Handling SiC Boat із SiC має багато переваг. SiC відомий своєю чудовою механічною міцністю, чудовою термічною стабільністю та стійкістю до корозії. Завдяки цим властивостям він є ідеальним матеріалом для роботизованої манипуляції з пластинами, де чистота, точність і надійність є критичними.

З безперервним розвитком напівпровідникових технологій розмір пластин поступово збільшувався, що висунуло більш високі вимоги до проектування та виробництва кінцевого ефектора обробки пластин. У майбутньому, з удосконаленням технологій автоматизації, точність, швидкість і надійність кінцевого ефектора для обробки пластин продовжуватимуть покращуватися.

Як одне з основних обладнання у виробництві напівпровідників, роботи для роботи з пластинами займають важливе місце на заводах з виробництва напівпровідників завдяки своїй високій чистоті, стійкості до корозії та стабільності високої температури. Компанія VeTek Semiconductor може надати клієнтам індивідуальні продукти кінцевого ефектора обробки пластин, а також передпродажне та післяпродажне обслуговування, і з нетерпінням чекає на вашу консультацію.

VeTekSemКінцевий ефект для обробки пластин: