Токоприймач із графітової бочки з SiC-покриттям для EPI

VeTek Semiconductor є китайським виробником і постачальником, який в основному виробляє графітовий ствол із SiC-покриттям для EPI з багаторічним досвідом. Сподіваюся побудувати ділові відносини з вами. EPI (епітаксія) є критично важливим процесом у виробництві передових напівпровідників. Він передбачає нанесення тонких шарів матеріалу на підкладку для створення складних структур пристрою. Токоприймачі з графітовим покриттям SiC для EPI зазвичай використовуються як токоприймачі в реакторах EPI завдяки їхній чудовій теплопровідності та стійкості до високих температур. Завдяки покриттю CVD-SiC воно стає більш стійким до забруднення, ерозії та термічного удару. Це призводить до довшого терміну служби сприймача та покращення якості плівки.

Переваги нашого графітового стовбура з SiC покриттям:

Зменшене забруднення: інертний характер SiC запобігає прилипанню домішок до поверхні чутливого елемента, зменшуючи ризик забруднення нанесених плівок.

Підвищена стійкість до ерозії: SiC значно стійкіший до ерозії, ніж звичайний графіт, що призводить до довшого терміну служби токоприймача.

Покращена термічна стабільність: SiC має чудову теплопровідність і може витримувати високі температури без значних спотворень.

Покращена якість плівки: покращена термічна стабільність і зменшення забруднення призводять до отримання нанесених плівок вищої якості з покращеним контролем однорідності та товщини.

Застосування:

Графітові стовбури з SiC-покриттям широко використовуються в різних додатках EPI, зокрема:

Світлодіоди на основі GaN

Силова електроніка

Оптоелектронні прилади

Транзистори високої частоти

Датчики

Параметр продукту графітового стовбура SiC із покриттям

Примітка: перед нанесенням покриття ми зробимо перше очищення, після покриття – друге очищення.

Цех виробництва напівпровідників VeTek