Китай Запасні частини процесу вирощування монокристалів SiC Виробник, Постачальник, Завод

Продукт VeTek Semiconductor, покриття з карбіду танталу (TaC) для процесу вирощування монокристалів SiC, вирішує проблеми, пов’язані з поверхнею росту кристалів карбіду кремнію (SiC), зокрема повними дефектами, які виникають на краю кристала. Застосовуючи покриття TaC, ми прагнемо покращити якість росту кристала та збільшити ефективну площу центру кристала, що має вирішальне значення для досягнення швидкого та густого росту.

Покриття TaC є основним технологічним рішенням для вирощування високоякісних монокристалів SiC. Ми успішно розробили технологію покриття TaC із використанням хімічного осадження з парової фази (CVD), яка досягла передового міжнародного рівня. TaC має виняткові властивості, включаючи високу температуру плавлення до 3880°C, відмінну механічну міцність, твердість і стійкість до термічного удару. Він також демонструє хорошу хімічну інертність і термічну стабільність при дії високих температур і таких речовин, як аміак, водень і пара, що містить кремній.

Покриття VeTek Semiconductor з карбіду танталу (TaC) пропонує рішення для вирішення проблем, пов’язаних з краями, у процесі вирощування монокристалів SiC, покращуючи якість та ефективність процесу вирощування. Завдяки нашій передовій технології покриття TaC ми прагнемо підтримати розвиток напівпровідникової промисловості третього покоління та зменшити залежність від імпортних ключових матеріалів.

Метод PVT SiC Процес зростання монокристалів Запасні частини:

Тигель із покриттям TaC, тримач насіння з покриттям TaC, напрямне кільце з покриттям TaC є важливими частинами в печі для монокристалів SiC та AIN методом PVT.

Ключова функція:

-Стійкість до високих температур

-Висока чистота, не забруднює сировину SiC та монокристали SiC.

- Стійкість до корозії водяною парою Al та N₂

-Висока евтектична температура (з AlN) для скорочення циклу підготовки кристалів.

- Підлягає повторній переробці (до 200 годин), це покращує стійкість та ефективність підготовки таких монокристалів.

Характеристики покриття TaC

Типові фізичні властивості Tac Coating

Відвідне кільце з покриттям з карбіду танталу Направляюче кільце покриття TaC Кільце покриття TaC Пластина з покриттям з карбіду танталу Відрізок з покриттям TaC Труба з покриттям TaC