Графітовий чутливий елемент із покриттям TaC

Запрошуємо вас прийти на нашу фабрику VeTek Semiconductor, щоб придбати найновіший високоякісний графітовий чутливий елемент із покриттям TaC за низькою ціною. Будемо раді співпраці з вами.

Керамічний карбід танталу має температуру плавлення до 3880 ℃, має високу температуру плавлення та хорошу хімічну стабільність сполуки, його високотемпературне середовище все ще може підтримувати стабільну продуктивність, крім того, він також має високу термостійкість, стійкість до хімічної корозії, хорошу хімічну стійкість і механічна сумісність з вуглецевими матеріалами та іншими характеристиками, що робить його ідеальним матеріалом для захисного покриття графітової підкладки. Покриття з карбіду танталу може ефективно захистити графітові компоненти від впливу гарячого аміаку, водню та парів кремнію та розплавленого металу в суворих умовах використання, значно подовжити термін служби графітових компонентів та перешкоджати міграції домішок у графіті, забезпечення якості епітаксії та росту кристалів. В основному використовується у мокрому керамічному процесі.

Хімічне осадження з газової фази (CVD) є найбільш зрілим і оптимальним методом підготовки для покриття з карбіду танталу на поверхні графіту.

Метод покриття CVD TaC для графітового чутливого елемента з покриттям TaC:

У процесі нанесення покриття використовуються TaCl5 і пропілен як джерело вуглецю та джерело танталу відповідно, а також аргон як газ-носій для передачі парів пентахлориду танталу в реакційну камеру після високотемпературної газифікації. Під цільовою температурою та тиском пари вихідного матеріалу адсорбуються на поверхні графітової частини, і відбувається ряд складних хімічних реакцій, таких як розкладання та поєднання джерела вуглецю та джерела танталу. У той же час також бере участь низка поверхневих реакцій, таких як дифузія прекурсора та десорбція побічних продуктів. Нарешті, на поверхні графітової частини утворюється щільний захисний шар, який захищає графітову частину від стабільності в екстремальних умовах навколишнього середовища. Значно розширені сценарії застосування графітових матеріалів.

Параметр продукту графітового чутливого елемента з покриттям TaC:

Виробничі цехи:

Огляд мережі індустрії епітаксії напівпровідникових мікросхем: