одержувач EPI

EPI-суцептор VeTek Semiconductor розроблений для вимогливого епітаксіального обладнання. Його високочиста графітова структура, покрита карбідом кремнію (SiC), забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини епітаксійного шару та стійкості, а також тривалу хімічну стійкість. Будемо раді співпраці з вами.

Надіслати запит

Опис продукту

VeTek Semiconductor є професійним лідером у Китаї, виробником приймачів EPI, планетарних приймачів ALD, графітових приймачів із покриттям TaC.

EPI-суцептор VeTek Semiconductor є важливим компонентом епітаксійного росту в процесі виробництва напівпровідників. Його основна функція полягає в підтримці та нагріванні пластини, щоб високоякісний епітаксійний шар міг рівномірно виростити на поверхні пластини.

EPI-приймачі VeTek Semiconductors зазвичай виготовляються з високочистого графіту та покриваються шаром карбіду кремнію (SiC). Ця конструкція має такі основні переваги:

Висока температурна стабільність: EPI-суцептор може залишатися стабільним у середовищі з високою температурою, забезпечуючи рівномірне зростання епітаксійного шару.

Стійкість до корозії: покриття SiC має чудову стійкість до корозії та може протистояти ерозії хімічних газів, подовжуючи термін служби лотка.

Теплопровідність: Висока теплопровідність матеріалу SiC забезпечує рівномірний розподіл температури пластини під час нагрівання, тим самим покращуючи якість епітаксійного шару.

Узгодження коефіцієнта теплового розширення: Коефіцієнт теплового розширення SiC подібний до коефіцієнта графіту, що дозволяє уникнути проблеми осипання покриття внаслідок теплового розширення та звуження.

Основні фізичні властивостіодержувач EPI: