Вафельний патрон з карбіду кремнію

Вафельний патрон VeTek Semiconductor з карбіду кремнію використовує чудові властивості матеріалів з карбіду кремнію, щоб відповідати суворим вимогам виробництва напівпровідників, особливо при обробці напівпровідників, яка вимагає надзвичайно високої точності та надійності.

У процесі обробки напівпровідників,Карбід кремніюмає чудову стійкість до високих температур (може стабільно працювати при температурі до 1400°C), низьку провідність (SiC має відносно низьку провідність, зазвичай 10^^-3См/м) і низький коефіцієнт теплового розширення (приблизно 4,0 × 10^^-6/°C), який є незамінним і важливим матеріалом, особливо придатним для виготовлення пластинчастого патрона з карбіду кремнію.

Під часпроцес епітаксіального росту, тонкий шар напівпровідникового матеріалу наноситься на підкладку, що вимагає від пластини абсолютної стабільності для забезпечення рівномірного та високоякісного нанесення шарів плівки. Вакуумний патрон SiC досягає цього, створюючи міцну, постійну вакуумну фіксацію для запобігання будь-якому переміщенню або деформації пластини.

Вафельний патрон із карбіду кремнію також забезпечує чудову стійкість до термічного удару. Швидкі зміни температури є звичайним явищем у виробництві напівпровідників, і матеріали, які не витримують цих коливань, можуть тріснути, зігнутися або вийти з ладу. Карбід кремнію має низький коефіцієнт теплового розширення та може зберігати свою форму та функції навіть за різких змін температури, гарантуючи, що пластина залишається надійною під час процесу епітаксії без руху чи зміщення.

Крім того,процес епітаксіїчасто включає активні гази та інші агресивні хімічні речовини. Хімічна інертність SiC Wafer Chuck гарантує, що на нього не впливають ці суворі умови, зберігаючи його продуктивність і подовжуючи термін служби. Ця хімічна стійкість не тільки зменшує частоту заміни пластинчастого патрона, але й забезпечує постійну продуктивність продукту протягом кількох виробничих циклів, допомагаючи підвищити загальну ефективність і економічну ефективність процесу виробництва напівпровідників.

VeTek Semiconductor є провідним виробником і постачальником пластинчастих патронів з карбіду кремнію в Китаї. Ми можемо надати різні види продуктів Chuck, наприкладКерамічний патрон з пористого SiC, Вакуумний патрон з пористого SiC, Вакуумний патрон з пористої керамікиіПатрон із покриттям TaC, тощо. VeTek Semiconductor прагне надавати передові технології та рішення для продуктів для напівпровідникової промисловості. Ми щиро сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

ДАНІ SEM ССЗКРИСТАЛІЧНА СТРУКТУРА ПЛІВКИ SIC：

Магазини пластинчастих патронів з карбіду кремнію VeTek Semiconductor：