VeTek Semiconductor — ваш інноваційний партнер у сфері обробки напівпровідників. Завдяки нашому обширному портфоліо напівпровідникових комбінацій матеріалів з карбіду кремнію, можливостям виробництва компонентів і послугам із розробки додатків ми можемо допомогти вам подолати значні труднощі. Інженерно-технічна кераміка з карбіду кремнію широко застосовується в напівпровідниковій промисловості завдяки своїм винятковим характеристикам матеріалу. Ультрачиста кераміка з карбіду кремнію VeTek Semiconductor часто використовується протягом усього циклу виробництва та обробки напівпровідників.
VeTek Semiconductor надає інженерні керамічні компоненти, спеціально розроблені для пакетної дифузії та вимог LPCVD, включаючи:
• Перегородки та тримачі
• Інжектори
• Вкладиші та технологічні труби
• Консольні лопаті з карбіду кремнію
• Вафельні кораблики і тумби
Консольне весло SiC SiC технологічні труби Технологічна трубка з карбіду кремнію Вертикальний вафельний човен SiC SiC горизонтальний вафельний човен SiC горизонтальні квадратні вафельні човни Вафельний човен SiC LPCVD SiC горизонтальний плитний човен Круглий вафельний кораблик із SiC
Зведіть до мінімуму забруднення та позапланове технічне обслуговування за допомогою компонентів високої чистоти, розроблених для суворої обробки плазмовим травленням, зокрема:
Кільця фокусування
Насадки
Щити
Лійки для душа
Вікна / Кришки
Інші спеціальні компоненти
VeTek Semiconductor надає передові компоненти матеріалів, призначені для високотемпературної термічної обробки в напівпровідниковій промисловості. Ці програми охоплюють процеси RTP, Epi, дифузію, окислення та відпал. Наша технічна кераміка розроблена таким чином, щоб витримувати термічні удари, забезпечуючи надійну та стабільну роботу. За допомогою компонентів VeTek Semiconductor виробники напівпровідників можуть досягти ефективної та високоякісної термічної обробки, сприяючи загальному успіху виробництва напівпровідників.
• Дифузори
• Ізолятори
• Суцептори
• Інші спеціальні термокомпоненти
Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію | |
Власність | Типове значення |
Робоча температура (°C) | 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище) |
Вміст SiC / SiC | > 99,96% |
Si / вільний вміст Si | < 0,1% |
Об'ємна щільність | 2,60-2,70 г/см3 |
Видима пористість | < 16% |
Міцність на стиск | > 600 МПа |
Міцність на холодний вигин | 80-90 МПа (20°C) |
Міцність на гарячий вигин | 90-100 МПа (1400°C) |
Теплове розширення @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Теплопровідність @1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль пружності | 240 ГПа |
Стійкість до термічного удару | Надзвичайно добре |
VeTek Semiconductor є провідним виробником і інноватором консольної пластини SiC високої чистоти в Китаї. Консольні лопаті високої чистоти SiC зазвичай використовуються в напівпровідникових дифузійних печах як платформи для перенесення пластин або завантажувальних платформ. VeTek Semiconductor прагне надавати передові технології та продуктові рішення для напівпровідникової промисловості. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитЯк професійний виробник і постачальник вафельних човнів і п’єдесталів для вертикальних колонок у Китаї, Vetek Semiconductor’s Wafer Boat & Pedestal виготовлені з високочистих кварцових або кремнієвих вуглецевих керамічних (SiC) матеріалів із чудовою стійкістю до високих температур, хімічною стабільністю та механічною міцністю. і є незамінним основним компонентом у процесі виробництва напівпровідників. Ласкаво просимо на подальшу консультацію.
ДетальнішеНадіслати запитVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat — це сучасне обладнання для обробки напівпровідників. Структура продукту Contiguous Wafer Boat ретельно розроблена для забезпечення ефективної обробки та виробництва прецизійних пластин. Vetek Semiconductor прагне надавати чудові технології та рішення для продуктів для напівпровідникової промисловості. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є професійним китайським виробником кремнієвої пластини ізолятора, планетарної основи ALD і графітової основи з покриттям TaC. Кремній на ізоляторній пластині VeTek Semiconductor є важливим напівпровідниковим матеріалом для підкладки, і завдяки його чудовим характеристикам продукту він відіграє ключову роль у високопродуктивних, малопотужних, інтегрованих і радіочастотних додатках. Сподіваємось на подальшу співпрацю з вами.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником направляючих кілець із покриттям TaC, горизонтального держателя для пластин із SiC та фіксаторів із покриттям із SiC у Китаї. Ми прагнемо надавати досконалу технічну підтримку та найкращі продуктові рішення для напівпровідникової промисловості. Ласкаво просимо до нас.
ДетальнішеНадіслати запитSiC Wafer Boat компанії VeTek Semiconductor є дуже високоефективним продуктом. Наш SiC Wafer Boat зазвичай використовується в дифузійних печах для окиснення напівпровідників, щоб забезпечити рівномірний розподіл температури на пластині та покращити якість обробки кремнієвої пластини. Висока температурна стабільність і висока теплопровідність матеріалів SiC забезпечують ефективну та надійну обробку напівпровідників. Ми прагнемо надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами та сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит