Консольна пластина SiC високої чистоти

Консольна пластина SiC високої чистоти є ключовим компонентом обладнання для обробки напівпровідників. Виріб виготовлено з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти. У поєднанні з чудовими характеристиками високої чистоти, високої термічної стабільності та стійкості до корозії, він широко використовується в таких процесах, як перенесення пластин, підтримка та високотемпературна обробка, забезпечуючи надійну гарантію для забезпечення точності процесу та якості продукції.

Загалом консольна пластина SiC високої чистоти виконує наступні конкретні ролі в процесі обробки напівпровідників:

Вафельний переклад: Консольна пластина SiC високої чистоти зазвичай використовується як пристрій для перенесення пластин у високотемпературних дифузійних або окислювальних печах. Його висока твердість робить його зносостійким і нелегким для деформації під час тривалого використання, і може гарантувати, що пластина залишається в точному положенні під час процесу перенесення. У поєднанні з його високотемпературною та корозійною стійкістю він може безпечно переміщувати пластини в трубу печі та з неї в умовах високої температури, не спричиняючи жодного забруднення чи пошкодження пластин.

Підтримка вафель: матеріал SiC має низький коефіцієнт теплового розширення, що означає, що його розмір менше змінюється при зміні температури, що допомагає підтримувати точний контроль у процесі. У процесах хімічного осадження з парової фази (CVD) або фізичного осадження з парової фази (PVD) для підтримки та фіксації пластини використовується SiC Console Paddle, щоб гарантувати, що пластина залишається стабільною та плоскою під час процесу осадження, тим самим покращуючи однорідність і якість плівки. .

Застосування високотемпературних процесів: SiC Console Paddle має відмінну термічну стабільність і може витримувати температуру до 1600°C. Тому цей продукт широко використовується у високотемпературному відпалі, окисленні, дифузії та інших процесах.

Основні фізичні властивості консольної лопатки SiC високої чистоти:

Консольна пластина SiC високої чистотимагазини:

Огляд мережі індустрії епітаксії напівпровідникових мікросхем: