VeTek Semiconductor — ваш інноваційний партнер у сфері обробки напівпровідників. Завдяки нашому обширному портфоліо напівпровідникових комбінацій матеріалів з карбіду кремнію, можливостям виробництва компонентів і послугам із розробки додатків ми можемо допомогти вам подолати значні труднощі. Інженерно-технічна кераміка з карбіду кремнію широко застосовується в напівпровідниковій промисловості завдяки своїм винятковим характеристикам матеріалу. Ультрачиста кераміка з карбіду кремнію VeTek Semiconductor часто використовується протягом усього циклу виробництва та обробки напівпровідників.
VeTek Semiconductor надає інженерні керамічні компоненти, спеціально розроблені для пакетної дифузії та вимог LPCVD, включаючи:
• Перегородки та тримачі
• Інжектори
• Вкладиші та технологічні труби
• Консольні лопаті з карбіду кремнію
• Вафельні кораблики і тумби
Консольне весло SiC SiC технологічні труби Технологічна трубка з карбіду кремнію Вертикальний вафельний човен SiC SiC горизонтальний вафельний човен SiC горизонтальні квадратні вафельні човни Вафельний човен SiC LPCVD SiC горизонтальний плитний човен Круглий вафельний кораблик із SiC
Зведіть до мінімуму забруднення та позапланове технічне обслуговування за допомогою компонентів високої чистоти, розроблених для суворої обробки плазмовим травленням, зокрема:
Кільця фокусування
Насадки
Щити
Лійки для душа
Вікна / Кришки
Інші спеціальні компоненти
VeTek Semiconductor надає передові компоненти матеріалів, призначені для високотемпературної термічної обробки в напівпровідниковій промисловості. Ці програми охоплюють процеси RTP, Epi, дифузію, окислення та відпал. Наша технічна кераміка розроблена таким чином, щоб витримувати термічні удари, забезпечуючи надійну та стабільну роботу. За допомогою компонентів VeTek Semiconductor виробники напівпровідників можуть досягти ефективної та високоякісної термічної обробки, сприяючи загальному успіху виробництва напівпровідників.
• Дифузори
• Ізолятори
• Суцептори
• Інші спеціальні термокомпоненти
Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію | |
Власність | Типове значення |
Робоча температура (°C) | 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище) |
Вміст SiC / SiC | > 99,96% |
Si / вільний вміст Si | < 0,1% |
Об'ємна щільність | 2,60-2,70 г/см3 |
Видима пористість | < 16% |
Міцність на стиск | > 600 МПа |
Міцність на холодний вигин | 80-90 МПа (20°C) |
Міцність на гарячий вигин | 90-100 МПа (1400°C) |
Теплове розширення @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Теплопровідність @1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль пружності | 240 ГПа |
Стійкість до термічного удару | Надзвичайно добре |
Вафельний човен з карбіду кремнію високої чистоти від VeTek Semiconductor виготовлений з надзвичайно чистого матеріалу карбіду кремнію з чудовою термічною стабільністю, механічною міцністю та хімічною стійкістю. Вафельний човен із карбіду кремнію високої чистоти використовується в гарячих зонах у виробництві напівпровідників, особливо у високотемпературному середовищі, і відіграє важливу роль у захисті пластин, транспортуванні матеріалів і підтримці стабільних процесів. VeTek Semiconductor продовжуватиме наполегливо працювати над інноваціями та покращувати продуктивність карбіду кремнію високої чистоти Wafer Boat, щоб задовольнити зростаючі потреби у виробництві напівпровідників. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником, який надає високоякісний ультрачистий порошок карбіду кремнію для росту кристалів. З чистотою до 99,999% мас. і надзвичайно низьким рівнем домішок азоту, бору, алюмінію та інших забруднювачів, він спеціально розроблений для підвищення напівізоляційних властивостей карбіду кремнію високої чистоти. Ласкаво просимо запитати та співпрацювати з нами!
ДетальнішеНадіслати запит