Китай Покриття з карбіду кремнію Виробник, Постачальник, Завод

VeTek Semiconductor спеціалізується на виробництві надчистих покриттів з карбіду кремнію, ці покриття призначені для нанесення на компоненти з очищеного графіту, кераміки та тугоплавких металів.

Наші покриття високої чистоти в першу чергу призначені для використання в напівпровідниковій та електронній промисловості. Вони служать захисним шаром для носіїв пластин, токоприймачів і нагрівальних елементів, захищаючи їх від корозійних і реактивних середовищ, які зустрічаються в таких процесах, як MOCVD і EPI. Ці процеси є невід’ємною частиною обробки пластин і виробництва пристроїв. Крім того, наші покриття добре підходять для застосування у вакуумних печах і нагріванні зразків, де стикаються з високим вакуумом, реактивними та кисневими середовищами.

У VeTek Semiconductor ми пропонуємо комплексне рішення з передовими можливостями машинного цеху. Це дозволяє нам виготовляти базові компоненти з графіту, кераміки або тугоплавких металів і наносити керамічні покриття SiC або TaC власними силами. Ми також надаємо послуги з нанесення покриття на надані клієнтом деталі, забезпечуючи гнучкість для задоволення різноманітних потреб.

Наші продукти з покриттям з карбіду кремнію широко використовуються в епітаксії Si, епітаксії SiC, системі MOCVD, процесу RTP/RTA, процесі травлення, процесі травлення ICP/PSS, процесі різних типів світлодіодів, включаючи сині та зелені світлодіоди, ультрафіолетові світлодіоди та глибоке УФ. Світлодіод тощо, який адаптований до обладнання LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI тощо.

Частини реактора, які ми можемо зробити:

Покриття з карбіду кремнію має кілька унікальних переваг:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Параметр покриття з карбіду кремнію VeTek Semiconductor:

Основні фізичні властивості CVD покриття SiC
Власність	Типове значення
Кристалічна структура	FCC β-фаза полікристалічна, переважно (111) орієнтована
Щільність	3,21 г/см³
Твердість	Твердість за Віккерсом 2500 (навантаження 500 г)
Розмір зерна	2~10 мкм
Хімічна чистота	99,99995%
Теплоємність	640 Дж·кг-1·K-1
Температура сублімації	2700 ℃
Міцність на згин	415 МПа RT 4-точковий
Модуль Юнга	430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃
Теплопровідність	300 Вт·м-1·K-1
Теплове розширення (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

П'єдестал із покриттям SiC

Vetek Semiconductor є професіоналом у виготовленні покриттів CVD SiC, покриттів TaC на матеріалі з графіту та карбіду кремнію. Ми надаємо продукти OEM та ODM, такі як п’єдестал з SiC покриттям, підставка для пластин, патрон для пластин, лоток для пластин, планетарний диск тощо. Завдяки чистій кімнаті та пристрою для очищення 1000 класу ми можемо надати вам продукти з вмістом домішок нижче 5 ppm. Чекаємо з нетерпінням від вас скоро.

Детальніше Надіслати запит

Вхідне кільце з покриттям SiC

Vetek Semiconductor вирізняється тим, що тісно співпрацює з клієнтами для створення індивідуальних конструкцій вхідного кільця з покриттям SiC відповідно до конкретних потреб. Це вхідне кільце з покриттям SiC ретельно розроблені для різноманітних застосувань, таких як CVD SiC обладнання та епітаксія з карбіду кремнію. Щоб отримати індивідуальні рішення для вхідного кільця з покриттям SiC, не соромтеся звертатися до Vetek Semiconductor за індивідуальною допомогою.

Детальніше Надіслати запит

Опорне кільце з SiC покриттям

VeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником у Китаї, який в основному виробляє опорні кільця з покриттям SiC, покриття з карбіду кремнію (SiC) CVD, покриття з карбіду танталу (TaC), масовий SiC, порошки SiC і матеріали з SiC високої чистоти. Ми прагнемо надавати досконалу технічну підтримку та найкращі рішення для напівпровідникової промисловості, зв’яжіться з нами.

Детальніше Надіслати запит

Вафельний Чак

Пластиновий патрон Vetek Semiconductor відіграє ключову роль у виробництві напівпровідників, забезпечуючи швидкий і високоякісний вихід. Завдяки власному виробництву, конкурентоспроможним ціноутворенням і надійній підтримці науково-дослідних робіт, Vetek Semiconductor вирізняється наданням послуг OEM/ODM для точних компонентів. Чекаємо на ваш запит.

Детальніше Надіслати запит

Планетарний токоприймач ALD

Процес ALD означає процес епітаксії атомного шару. Vetek Semiconductor і виробники систем ALD розробили та виготовили планетарні фіксатори ALD із покриттям SiC, які відповідають високим вимогам процесу ALD щодо рівномірного розподілу повітряного потоку по підкладці. У той же час покриття Vetek Semiconductor високої чистоти CVD SiC забезпечує чистоту процесу. Ласкаво просимо до обговорення співпраці з нами.

Детальніше Надіслати запит

SiC Coating Suceptor

Vetek Semiconductor зосереджується на дослідженні, розробці та індустріалізації покриттів CVD SiC і CVD TaC покриттів. Взявши як приклад покриття SiC, виріб пройшов високу обробку з високою точністю, щільним покриттям CVD SIC, високотемпературною стійкістю та сильною корозійною стійкістю. Запит до нас вітається.

Детальніше Надіслати запит

<...3 4 5 6 7...12 >

Як професійний Покриття з карбіду кремнію виробник і постачальник у Китаї, ми маємо власну фабрику. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги відповідно до конкретних потреб вашого регіону, чи бажаєте придбати вдосконалений і міцний Покриття з карбіду кремнію, виготовлений у Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.