VeTek Semiconductor спеціалізується на виробництві надчистих покриттів з карбіду кремнію, ці покриття призначені для нанесення на компоненти з очищеного графіту, кераміки та тугоплавких металів.
Наші покриття високої чистоти в першу чергу призначені для використання в напівпровідниковій та електронній промисловості. Вони служать захисним шаром для носіїв пластин, токоприймачів і нагрівальних елементів, захищаючи їх від корозійних і реактивних середовищ, які зустрічаються в таких процесах, як MOCVD і EPI. Ці процеси є невід’ємною частиною обробки пластин і виробництва пристроїв. Крім того, наші покриття добре підходять для застосування у вакуумних печах і нагріванні зразків, де стикаються з високим вакуумом, реактивними та кисневими середовищами.
У VeTek Semiconductor ми пропонуємо комплексне рішення з передовими можливостями машинного цеху. Це дозволяє нам виготовляти базові компоненти з графіту, кераміки або тугоплавких металів і наносити керамічні покриття SiC або TaC власними силами. Ми також надаємо послуги з нанесення покриття на надані клієнтом деталі, забезпечуючи гнучкість для задоволення різноманітних потреб.
Наші продукти з покриттям з карбіду кремнію широко використовуються в епітаксії Si, епітаксії SiC, системі MOCVD, процесу RTP/RTA, процесі травлення, процесі травлення ICP/PSS, процесі різних типів світлодіодів, включаючи сині та зелені світлодіоди, ультрафіолетові світлодіоди та глибоке УФ. Світлодіод тощо, який адаптований до обладнання LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI тощо.
Основні фізичні властивості CVD покриття SiC | |
Власність | Типове значення |
Кристалічна структура | FCC β-фаза полікристалічна, переважно (111) орієнтована |
Щільність | 3,21 г/см³ |
Твердість | Твердість за Віккерсом 2500 (навантаження 500 г) |
Розмір зерна | 2~10 мкм |
Хімічна чистота | 99,99995% |
Теплоємність | 640 Дж·кг-1·K-1 |
Температура сублімації | 2700 ℃ |
Міцність на згин | 415 МПа RT 4-точковий |
Модуль Юнга | 430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃ |
Теплопровідність | 300 Вт·м-1·K-1 |
Теплове розширення (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor є провідним виробником і постачальником електроприймачів для покриття SiC MOCVD у Китаї, який протягом багатьох років зосереджується на дослідженнях і розробках і виробництві виробів з покриттям SiC. Наші фіксатори покриття MOCVD SiC мають чудову стійкість до високих температур, хорошу теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення, відіграючи ключову роль у підтримці та нагріванні пластин кремнію або карбіду кремнію (SiC) і рівномірному осадженні газу. Ласкаво просимо до подальших консультацій.
ДетальнішеНадіслати запитЯк професійний виробник і постачальник напівпровідників, VeTek Semiconductor може надати різноманітні графітові компоненти, необхідні для систем епітаксійного вирощування SiC. Ці деталі з напівмісяцевого графіту з SiC-покриттям розроблені для секції входу газу в епітаксіальний реактор і відіграють важливу роль в оптимізації процесу виробництва напівпровідників. VeTek Semiconductor завжди прагне надавати клієнтам продукцію найкращої якості за найвигіднішими цінами. VeTek Semiconductor сподівається стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитГрафітовий нагрівач VeTek Semiconductor Hot Zone призначений для роботи в екстремальних умовах у високотемпературних печах і підтримує чудову продуктивність і стабільність у складних процесах, таких як хімічне осадження з парової фази (CVD), епітаксійне зростання та високотемпературний відпал. VeTekSemi завжди фокусується на виробництві та постачанні високоякісних графітових нагрівачів Hot Zone, щоб забезпечити найкращу економічну ефективність для клієнтів. Ми щиро запрошуємо вас зв'язатися з нами.
ДетальнішеНадіслати запитVeTek Semiconductor є провідним виробником і постачальником нагрівачів VEECO MOCVD у Китаї. Нагрівач MOCVD має відмінну хімічну чистоту, термічну стабільність і стійкість до корозії. Це незамінний продукт у процесі металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD). Ласкаво просимо до ваших подальших запитів.
ДетальнішеНадіслати запитБудучи провідним виробником і постачальником продукції VEECO MOCVD Susceptor у Китаї, VeTek Semiconductor MOCVD Susceptor являє собою вершину інновацій та інженерної досконалості, спеціально розроблену для задоволення складних вимог сучасних процесів виробництва напівпровідників. Ласкаво просимо до ваших подальших запитів.
ДетальнішеНадіслати запитЯк передовий виробник ущільнювальних частин із SiC та фабрика в Китаї. Ущільнювальна деталь VeTek Semiconducto SiC — це високоефективний ущільнювальний компонент, який широко використовується в обробці напівпровідників та в інших процесах при екстремально високих температурах і високому тиску. Ласкаво просимо до подальшої консультації.
ДетальнішеНадіслати запит