Фокусуюче кільце для травлення з міцного SiC

Ви можете бути впевнені, купуючи Solid SiC Etching Focusing Ring на нашому заводі. Революційна технологія VeTek Semiconductor дозволяє виробляти Solid SiC Etching Focusing Ring, матеріал карбіду кремнію надвисокої чистоти, створений за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази.

Фокусуюче кільце для травлення з твердого SiC використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в системах плазмового травлення. Суцільне фокусуюче кільце травлення SiC є ключовим компонентом, який допомагає досягти точного та контрольованого травлення пластин карбіду кремнію (SiC).

У процесі плазмового травлення кільце фокусування виконує кілька функцій:

1. Фокусування плазми: фокусуюче кільце для травлення з твердого SiC допомагає формувати та концентрувати плазму навколо пластини, забезпечуючи рівномірний та ефективний процес травлення. Це допомагає обмежити плазму в потрібній області, запобігаючи випадковому травленню або пошкодженню навколишніх областей.

2. Захист стінок камери: кільце фокусування діє як бар’єр між плазмою та стінками камери, запобігаючи прямому контакту та потенційному пошкодженню. SiC має високу стійкість до плазмової ерозії та забезпечує чудовий захист для стінок камери.

3. Контроль температури: кільце фокусування допомагає підтримувати рівномірний розподіл температури по пластині під час процесу травлення. Це допомагає розсіювати тепло і запобігає локальному перегріву або температурним градієнтам, які можуть вплинути на результати травлення.

Твердий SiC обраний для фокусуючих кілець завдяки його видатній термічній і хімічній стабільності, високій механічній міцності та стійкості до плазмової ерозії. Ці властивості роблять SiC придатним матеріалом для суворих і складних умов у системах плазмового травлення.

Варто зазначити, що конструкція та технічні характеристики кілець фокусування можуть відрізнятися залежно від конкретної системи плазмового травлення та вимог процесу. VeTek Semiconductor оптимізує форму, розміри та характеристики поверхні фокусувальних кілець, щоб забезпечити оптимальну ефективність травлення та довговічність. Твердий SiC широко використовується для носіїв пластин, фіксаторів, фіктивних пластин, напрямних кілець, деталей для процесу травлення, процесу CVD тощо.

Параметр продукту твердого кільця фокусування травлення SiC

Цех виробництва напівпровідників VeTek