Насадка для душу з твердого SiC газу

Насадка для душу з твердого SiC газу

VeTek Semiconductor — це інтегрована компанія, яка займається дослідженнями, виробництвом і продажами. Маючи понад 20 років досвіду, наша команда спеціалізується на покриттях SiC, TaC і CVD Solid SiC. Ласкаво просимо до купівлі у нас Solid SiC Gas Shower Head.

VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Shower Head зазвичай використовується для рівномірного розподілу газів-попередників на поверхні підкладки під час напівпровідникових процесів CVD. Використання матеріалу CVD-SiC для душових лійок має кілька переваг. Його висока теплопровідність допомагає розсіювати тепло, що утворюється в процесі CVD, забезпечуючи рівномірний розподіл температури на підкладці. Крім того, хімічна стабільність душової лійки CVD sic дозволяє їй витримувати корозійні гази та агресивні середовища, які зазвичай зустрічаються в процесах CVD. 

Конструкцію душових лійок CVD SiC можна пристосувати до конкретних систем CVD і вимог процесу. Однак зазвичай вони складаються з пластинчастого або дископодібного компонента з серією точно просвердлених отворів або пазів. Схема отворів і геометрія ретельно розроблені для забезпечення рівномірного розподілу газу та швидкості потоку по поверхні підкладки.

Фізичні властивості твердого SiC