Трипелюсткове кільце з покриттям TaC

VeTek Semiconductor є професійним китайським виробником і постачальником кільця з трьома пелюстками з покриттям TaC. Кільце з трьома пелюстками з покриттям TaC використовується в системі осадження Aixtron G10 для складних напівпровідників, G10-GaN 150/200 мм високопродуктивної епітаксії для живлення GaN і радіочастот. програми.

Покриття VeTek Semiconductor TaC - це нове покоління високотемпературного матеріалу з кращою високотемпературною стабільністю, ніж SiC, як корозійно-стійке покриття, стійке до окислення покриття, зносостійке покриття, яке можна використовувати в середовищі вище 2000 ℃, широко використовується в аерокосмічні ультрависокотемпературні гарячі кінцеві частини, третє покоління напівпровідникового монокристалічного росту та інші поля.

Особливості продукту:

1. Висока чистота, вміст домішок <5 ppm

2. Стійкість до високих температур, стійкість до корозії, висока щільність, висока щільність

3. Він хімічно інертний до аміаку, водню, силану та кремнію при високій температурі та має хорошу термічну стабільність.

4. Стійкість до термічного удару може прискорити робочий цикл

5. Сильна графітова адгезія забезпечує тривалий термін служби та відсутність розшарування покриття.

6. Суворі допуски на розміри.

Основні програми:

1. Епітаксіальний ріст

2. Зростання монокристалів

3. Відведення від високотемпературної корозії

4. Насадка, стійка до високих температур і окислення

5. Лопатки газових турбін

Параметр продукту трипелюсткового кільця з покриттям TaC

Цех виробництва напівпровідників VeTek