Нагрівач покриття TaC

VeTek Semiconductor є провідним виробником і інноватором нагрівачів покриття TaC у Китаї. Цей продукт має надзвичайно високу температуру плавлення (близько 3880°C). Висока температура плавлення TaC Coating Heater дозволяє йому працювати при надзвичайно високих температурах, особливо під час росту епітаксійних шарів нітриду галію (GaN) у процесі металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD). VeTek Semiconductor прагне надавати передові технології та продуктові рішення для напівпровідникової промисловості. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

TaC Coating Heater — це високоефективний нагрівальний елемент, який широко використовується в процесах виробництва напівпровідників. Його поверхня покрита матеріалом з карбіду танталу (TaC), який надає нагрівачу чудову стійкість до високих температур, стійкість до хімічної корозії та відмінну теплопровідність.

Основні сфери застосування нагрівача покриття TaC у виробництві напівпровідників включають:

Під час процесу епітаксійного нарощування нітриду галію (GaN) TaC Coating Heater забезпечує точно контрольовану високу температуру середовища, щоб гарантувати, що епітаксійний шар наноситься на підкладку з рівномірною швидкістю та високою якістю. Його стабільна тепловіддача допомагає досягти точного контролю тонкоплівкових матеріалів, тим самим покращуючи продуктивність пристрою.

Крім того, у процесі металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD), у поєднанні з високотемпературною стійкістю та теплопровідністю покриття TaC, нагрівач покриття TaC зазвичай використовується для нагрівання реакційного газу, і, забезпечуючи рівномірний розподіл тепла, він сприяє його хімічна реакція на поверхні підкладки, тим самим покращуючи рівномірність епітаксійного шару та утворюючи високоякісну плівку.

VeTek Semiconducto, як лідер галузі у виробництві нагрівачів для покриттів TaC, завжди підтримує послуги з налаштування продукції та задовільні ціни на продукцію. Незалежно від ваших конкретних вимог, ми підберемо найкраще рішення для ваших потреб у нагрівачі покриття TaC і чекаємо на вашу консультацію в будь-який час.

Основні фізичні властивості нагрівача покриття TaC:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність	14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність	0.3
Коефіцієнт теплового розширення	6.3 10-6/К
Твердість (HK)	2000 HK
опір	1×10-5 Ом*см
Термостабільність	<2500 ℃
Розмір графіту змінюється	-10~-20 мкм
Товщина покриття	Типове значення ≥20um (35um±10um)