Опорна пластина підставки з покриттям TaC

VeTek Semiconductor є китайським виробником і постачальником, який в основному виробляє CVD TaC-покриття, вхідні кільця, пластини, тримачі з TaC-покриттям, опорні пластини з TaC-покриттям з багаторічним досвідом. Сподіваюся побудувати з вами ділові відносини.

Кераміка TaC має температуру плавлення до 3880 ℃, високу твердість (твердість за Моосом 9 ~ 10), велику теплопровідність (22 Вт·м-1·K−1), велику міцність на вигин (340 ~ 400 МПа) і малий коефіцієнт теплового розширення коефіцієнт (6,6 × 10−6K−1), і показують відмінну термохімічну стабільність і чудові фізичні властивості. Він має хорошу хімічну та механічну сумісність з графітом і C/C композитними матеріалами, тому покриття TaC широко використовується в аерокосмічному тепловому захисті, вирощуванні монокристалів та епітаксіальних реакторах, таких як Aixtron, LPE EPI реактор у напівпровідниковій промисловості. Графіт з покриттям TaC має кращу стійкість до хімічної корозії, ніж чорнило з голим каменем або графіт з покриттям SiC, може стабільно використовуватися при високій температурі 2200°, не реагує з багатьма металевими елементами, є третім поколінням напівпровідникових монокристалів, епітаксії та сцени травлення пластин найкраще ефективне покриття, може значно покращити процес контролю температури та домішок, Підготовка високоякісних пластин карбіду кремнію та відповідних епітаксійних пластин. Він особливо підходить для вирощування монокристалів GaN або AlN в обладнанні MOCVD і монокристалів SiC в обладнанні PVT, і якість вирощеного монокристала, очевидно, покращується.

Покриття TaC і покриття SiC Запасні частини, які ми можемо зробити:

Параметр покриття TaC:

Промисловий ланцюг:

Виробничий цех