Планетарний токоприймач з покриттям TaC

У сфері виробництва напівпровідників планетарний фіксатор із покриттям TaC відіграє вирішальну роль. Він широко використовується для нарощування епітаксійних шарів карбіду кремнію (SiC) в такому обладнанні, як система Aixtron G5. Крім того, при використанні в якості зовнішнього диска при осадженні покриття з карбіду танталу (TaC) для епітаксії SiC планетарний токоприймач TaC Coating забезпечує важливу підтримку та стабільність. Він забезпечує рівномірне осадження шару карбіду танталу, сприяючи формуванню високоякісних епітаксійних шарів з чудовою морфологією поверхні та бажаною товщиною плівки. Хімічна інертність покриття TaC запобігає небажаним реакціям і забрудненням, зберігаючи цілісність епітаксійних шарів і забезпечуючи їх високу якість.

Виняткова теплопровідність покриття TaC забезпечує ефективну теплопередачу, сприяючи рівномірному розподілу температури та мінімізуючи термічне навантаження під час процесу епітаксіального росту. Це призводить до отримання високоякісних епітаксійних шарів SiC з покращеними кристалографічними властивостями та підвищеною електропровідністю.

Точні розміри та міцна конструкція планетарного диска з покриттям TaC дозволяють легко інтегрувати його в існуючі системи, забезпечуючи повну сумісність та ефективну роботу. Його надійна робота та високоякісне покриття TaC сприяють послідовним і рівномірним результатам у процесах епітаксії SiC.

Довіртеся VeTek Semiconductor і нашому планетарному диску з покриттям TaC для виняткової продуктивності та надійності в епітаксії SiC. Відчуйте переваги наших інноваційних рішень, які позиціонують вас на передньому краї технологічних досягнень у напівпровідниковій промисловості.

Запасні частини для покриття TaC і SiC, які ми постачаємо:

Параметр продукту планетарного токоприймача з покриттям TaC:

Промисловий ланцюг:

Виробничий цех