додому > Продукти > Покриття з карбіду танталу > Процес епітаксії SiC > Планетарний токоприймач з покриттям TaC
Планетарний токоприймач з покриттям TaC
  • Планетарний токоприймач з покриттям TaCПланетарний токоприймач з покриттям TaC

Планетарний токоприймач з покриттям TaC

Planetary Susceptor з покриттям VeTek Semiconductor'TaC є винятковим продуктом для обладнання епітаксії Aixtron. Міцне покриття TaC забезпечує відмінну стійкість до високих температур і хімічну інертність. Ця унікальна комбінація забезпечує надійну роботу та тривалий термін служби навіть у складних умовах. VeTek прагне надавати високоякісні продукти та служити довгостроковим партнером на китайському ринку з конкурентними цінами.

Надіслати запит

Опис продукту

У сфері виробництва напівпровідників планетарний фіксатор із покриттям TaC відіграє вирішальну роль. Він широко використовується для нарощування епітаксійних шарів карбіду кремнію (SiC) в такому обладнанні, як система Aixtron G5. Крім того, при використанні в якості зовнішнього диска при осадженні покриття з карбіду танталу (TaC) для епітаксії SiC планетарний токоприймач TaC Coating забезпечує важливу підтримку та стабільність. Він забезпечує рівномірне осадження шару карбіду танталу, сприяючи формуванню високоякісних епітаксійних шарів з чудовою морфологією поверхні та бажаною товщиною плівки. Хімічна інертність покриття TaC запобігає небажаним реакціям і забрудненням, зберігаючи цілісність епітаксійних шарів і забезпечуючи їх високу якість.

Виняткова теплопровідність покриття TaC забезпечує ефективну теплопередачу, сприяючи рівномірному розподілу температури та мінімізуючи термічне навантаження під час процесу епітаксіального росту. Це призводить до отримання високоякісних епітаксійних шарів SiC з покращеними кристалографічними властивостями та підвищеною електропровідністю.

Точні розміри та міцна конструкція планетарного диска з покриттям TaC дозволяють легко інтегрувати його в існуючі системи, забезпечуючи повну сумісність та ефективну роботу. Його надійна робота та високоякісне покриття TaC сприяють послідовним і рівномірним результатам у процесах епітаксії SiC.

Довіртеся VeTek Semiconductor і нашому планетарному диску з покриттям TaC для виняткової продуктивності та надійності в епітаксії SiC. Відчуйте переваги наших інноваційних рішень, які позиціонують вас на передньому краї технологічних досягнень у напівпровідниковій промисловості.


Запасні частини для покриття TaC і SiC, які ми постачаємо:


Параметр продукту планетарного токоприймача з покриттям TaC:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність 14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність 0.3
Коефіцієнт теплового розширення 6.3 10-6/К
Твердість (HK) 2000 HK
опір 1×10-5 Ом*см
Термостабільність <2500 ℃
Розмір графіту змінюється -10~-20 мкм
Товщина покриття Типове значення ≥20um (35um±10um)


Промисловий ланцюг:


Виробничий цех


Гарячі теги: Planetary Susceptor з покриттям TaC, Китай, Виробник, Постачальник, Фабрика, Індивідуальний, Купуйте, Розширений, Міцний, Зроблено в Китаї
Пов'язана категорія
Надіслати запит
Будь ласка, надішліть свій запит у формі нижче. Ми відповімо вам протягом 24 годин.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept