Обертова пластина з покриттям TaC від VeTek Semiconductor має видатне покриття TaC. Завдяки винятковому покриттю TaC, обертова пластина з покриттям TaC може похвалитися чудовою високотемпературною стійкістю та хімічною інертністю, що відрізняє її від традиційних рішень. Ми прагнемо надавати якісні продукти за конкурентоспроможною ціною. ціни та сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Обертова пластина з покриттям TaC компанії VeTek Semiconductor має склад високої чистоти, вміст домішок менше 5 частин на мільйон, щільну й однорідну структуру, яка широко використовується в системах LPE EPI, системах Aixtron, системах Nuflare, системах TEL CVD, системах VEECO, TSI системи.
Відмінні механічні властивості:
Твердість покриття до 2300HV, відмінна зносостійкість.
Адгезія між покриттям і основою міцна, її нелегко відпасти або відшаровувати.
Покриття все ще може зберігати хорошу структурну стабільність при високій температурі.
Чудова стійкість до корозії:
Сам матеріал TaC має відмінну хімічну стабільність і стійкість до корозії.
Покриття напівпровідників VeTek добре працюють у різноманітних агресивних газових середовищах.
Може ефективно захистити внутрішні компоненти обладнання від пошкодження корозією.
Висока обробка поверхні:
Напівпровідник VeTek використовує точний процес нанесення покриття для отримання бажаного результату.
Низька шорсткість поверхні допомагає зменшити накопичення та осадження частинок.
Консистенція покриття хороша:
VeTek Semiconductorмає систему контролю якості звуку для забезпечення стабільної продуктивності між партіями.
Товщина покриття рівномірно розподіляється і немає явних локальних дефектів.
Відмінна практична ефективність застосування:
Покриття TaC від VeTek semiconductor широко використовується багатьма відомими виробниками епітаксійного обладнання в країні та за кордоном.
Фізичні властивості покриття TaC | |
Щільність | 14,3 (г/см³) |
Питома випромінювальна здатність | 0.3 |
Коефіцієнт теплового розширення | 6.3 10-6/К |
Твердість (HK) | 2000 HK |
опір | 1×10-5Ом*см |
Термостабільність | <2500 ℃ |
Розмір графіту змінюється | -10~-20 мкм |
Товщина покриття | Типове значення ≥20um (35um±10um) |