> Продукти > Покриття з карбіду танталу

Продукти

нові продукти

Китай Покриття з карбіду танталу Виробник, Постачальник, Завод

VeTek semiconductor є провідним виробником матеріалів для покриття з карбіду танталу для напівпровідникової промисловості. Наші основні пропозиції продуктів включають деталі з покриттям з карбіду танталу CVD, деталі зі спеченим покриттям TaC для вирощування кристалів SiC або процесу епітаксії напівпровідників. Компанія VeTek Semiconductor пройшла стандарт ISO9001 і добре контролює якість. VeTek Semiconductor прагне стати інноватором у галузі покриття з карбіду танталу завдяки постійним дослідженням і розробці ітераційних технологій.

Основною продукцією єДефекторне кільце з покриттям з карбіду танталу, відвідне кільце з покриттям TaC, деталі півмісяця з покриттям з TaC, планетарний ротаційний диск з покриттям з карбіду танталу (Aixtron G10), тигель з покриттям TaC; кільця з покриттям TaC; пористий графіт з покриттям TaC; графітове покриття з карбіду танталу; Напрямне кільце з покриттям TaC; пластина з покриттям з карбіду танталу TaC; Вафельний токоприймач з покриттям TaC; кільце покриття TaC; Покриття TaC Graphite Cover; Частка з покриттям TaCтощо, чистота нижче 5 ppm, може задовольнити вимоги замовника.

Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Перевага показана на зображенні нижче:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покриття з карбіду танталу (TaC) привернуло увагу завдяки своїй високій температурі плавлення до 3880°C, чудовій механічній міцності, твердості та стійкості до термічних ударів, що робить його привабливою альтернативою процесам епітаксії складних напівпровідників з вищими температурними вимогами. наприклад система Aixtron MOCVD і процес епітаксії SiC LPE. Він також має широке застосування в процесі вирощування кристалів SiC методом PVT.

Ключові характеристики:

●Температурна стабільність

●Надвисока чистота

●Стійкість до H2, NH3, SiH4,Si

●Стійкість до термозапасу

●Сильна адгезія до графіту

●Конформне покриття покриття

● Розмір до 750 мм в діаметрі (єдиний виробник в Китаї досягає такого розміру)

Додатки:

●Вафельний носій

● Індуктивний нагрівач

● Резистивний нагрівальний елемент

●Супутниковий диск

●Лійка для душу

●Направляюче кільце

●LED Epi приймач

●Інжекторна насадка

●Маскувальне кільце

● Тепловий екран

Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність	14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність	0.3
Коефіцієнт теплового розширення	6.3 10^-6/К
Твердість (HK)	2000 HK
опір	1×10^-5Ом*см
Термостабільність	<2500 ℃
Розмір графіту змінюється	-10~-20 мкм
Товщина покриття	Типове значення ≥20um (35um±10um)

Дані EDX покриття TaC：

EDX data of TaC coating

Дані кристалічної структури покриття TaC:

елемент	Атомний відсоток
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Середній
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
М	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон для покриття TaC Планетарний диск з покриттям TaC Пластина з покриттям TaC Обертова пластина з покриттям TaC Приймач покриття TaC Покриття CVD TaC Кільце покриття CVD TaC Пластина з покриттям TaC

View as

Запасна частина покриття TaC

VeTek Semiconductor є професійним виробником пластин із покриттям TaC та інших запасних частин для покриття TaC у Китаї. Наразі покриття TaC в основному використовується в таких процесах, як вирощування монокристалів карбіду кремнію (метод PVT), епітаксійний диск (включаючи епітаксію карбіду кремнію, світлодіодну епітаксію) тощо. У поєднанні з хорошою довгостроковою стабільністю пластини з покриттям TaC VeTek Semiconductor TaC Пластина з покриттям стала еталоном для запасних частин для покриття TaC. Ми з нетерпінням чекаємо, що ви станете нашим довгостроковим партнером.

Детальніше Надіслати запит

Епіакцептор GaN на SiC

VeTek Semiconductor є професійним виробником GaN на SiC епісуцепторі, CVD SiC покриттям і CVD TAC COATING графітовим токоприймачем у Китаї. Серед них GaN на SiC episceptor відіграє життєво важливу роль у обробці напівпровідників. Завдяки чудовій теплопровідності, здатності до високотемпературної обробки та хімічній стабільності він забезпечує високу ефективність і якість матеріалу процесу епітаксійного росту GaN. Ми щиро сподіваємося на подальшу консультацію.

Детальніше Надіслати запит

CVD TaC Coating Carrier

Носій покриття CVD TaC компанії VeTek Semiconductor в основному розроблений для епітаксійного процесу виробництва напівпровідників. Надвисока температура плавлення, чудова стійкість до корозії та надзвичайна термостабільність покриття CVD TaC Coating визначають незамінність цього продукту в епітаксійному процесі напівпровідників. Ми щиро сподіваємося побудувати з вами довгострокові ділові відносини.

Детальніше Надіслати запит

Направляюче кільце покриття TaC

Направляюче кільце покриття TaC компанії VeTek Semiconductor створюється шляхом нанесення покриття з карбіду танталу на графітові деталі за допомогою передової технології, яка називається хімічним осадженням з парової фази (CVD). Цей метод добре зарекомендував себе і забезпечує виняткові властивості покриття. Використовуючи направляюче кільце покриття TaC, можна значно подовжити термін служби графітових компонентів, придушити рух домішок графіту та надійно підтримувати якість монокристалів SiC і AIN. Ласкаво просимо до нас.

Детальніше Надіслати запит

Графітовий чутливий елемент із покриттям TaC

Graphite Susceptor із покриттям TaC від VeTek Semiconductor використовує метод хімічного осадження з парової фази (CVD) для отримання покриття з карбіду танталу на поверхні графітових деталей. Цей процес є найбільш зрілим і має найкращі властивості покриття. TaC Coated Graphite Susceptor може продовжити термін служби графітових компонентів, перешкоджати міграції домішок графіту та забезпечити якість епітаксії. VeTek Semiconductor з нетерпінням чекає на ваш запит.

Детальніше Надіслати запит

Сусцептор покриття TaC

VeTek Semiconductor представляє TaC Coating Susceptor. Завдяки винятковому покриттю TaC цей чутливий елемент пропонує безліч переваг, які відрізняють його від звичайних рішень. Бездоганно інтегруючись у існуючі системи, TaC Coating Susceptor від VeTek Semiconductor гарантує сумісність та ефективну роботу. Його надійні характеристики та високоякісне покриття TaC постійно забезпечують виняткові результати в процесах епітаксії SiC. Ми прагнемо надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами та сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Детальніше Надіслати запит

<...2 3 4 5 6...9 >

Як професійний Покриття з карбіду танталу виробник і постачальник у Китаї, ми маємо власну фабрику. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги відповідно до конкретних потреб вашого регіону, чи бажаєте придбати вдосконалений і міцний Покриття з карбіду танталу, виготовлений у Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.