- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
Китай Покриття з карбіду танталу Виробник, Постачальник, Завод
VeTek semiconductor є провідним виробником матеріалів для покриття з карбіду танталу для напівпровідникової промисловості. Наші основні пропозиції продуктів включають деталі з покриттям з карбіду танталу CVD, деталі з покриттям зі спеченого TaC для вирощування кристалів SiC або процесу напівпровідникової епітаксії. Компанія VeTek Semiconductor пройшла стандарт ISO9001 і добре контролює якість. VeTek Semiconductor прагне стати інноватором у галузі покриття з карбіду танталу завдяки постійним дослідженням і розробці ітераційних технологій.
Основною продукцією єНапрямне кільце з покриттям TaC, Трипелюсткове напрямне кільце з покриттям CVD TaC, Напівмісяць із покриттям з карбіду танталу TaC, Планетарний епітаксіальний SiC-покриття CVD TaC, Кільце з покриттям з карбіду танталу, Пористий графіт з покриттям з карбіду танталу, Приймач обертання покриття TaC, Кільце з карбіду танталу, Обертова пластина з покриттям TaC, Пластина з покриттям TaC, Дефлекторне кільце з покриттям TaC, Покриття CVD TaC, Патрон із покриттям TaCтощо, чистота нижче 5 ppm, може задовольнити вимоги замовника.
Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Перевага показана на зображенні нижче:
Покриття з карбіду танталу (TaC) привернуло увагу завдяки своїй високій температурі плавлення до 3880°C, відмінній механічній міцності, твердості та стійкості до термічних ударів, що робить його привабливою альтернативою процесам епітаксії складних напівпровідників з вищими вимогами до температури. такі як система Aixtron MOCVD і процес епітаксії SiC LPE. Він також має широке застосування в процесі вирощування кристалів SiC методом PVT.
Ключові характеристики:
●Температурна стабільність
●Надвисока чистота
●Стійкість до H2, NH3, SiH4,Si
●Стійкість до термозапасу
●Сильна адгезія до графіту
●Конформне покриття покриття
● Розмір до 750 мм в діаметрі (єдиний виробник в Китаї досягає такого розміру)
Додатки:
● Індуктивний нагрівач
● Резистивний нагрівальний елемент
● Тепловий екран
Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі:
Параметр покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor:
| Фізичні властивості покриття TaC | |
| Щільність | 14,3 (г/см³) |
| Питома випромінювальна здатність | 0.3 |
| Коефіцієнт теплового розширення | 6.3 10-6/К |
| Твердість (HK) | 2000 HK |
| опір | 1×10-5Ом*см |
| Термостабільність | <2500 ℃ |
| Розмір графіту змінюється | -10~-20 мкм |
| Товщина покриття | Типове значення ≥20um (35um±10um) |
Дані EDX покриття TaC：
Дані кристалічної структури покриття TaC:
| елемент | Атомний відсоток | |||
| Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Середній | |
| C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
- View as
Графітова пластина з покриттям TaC
Компанія VeTek Semiconductor ретельно розробила графітовий носій із покриттям TaC для клієнтів. Він складається з графіту високої чистоти та покриття TaC, яке підходить для різноманітної епітаксійної обробки пластин. Протягом багатьох років ми спеціалізуємося на покритті SiC і TaC. Порівняно з покриттям SiC наш графітовий носій із покриттям TaC має більш високу термостійкість і зносостійкість. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит
Як професійний Покриття з карбіду танталу виробник і постачальник у Китаї, ми маємо власну фабрику. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги відповідно до конкретних потреб вашого регіону, чи бажаєте придбати вдосконалений і міцний Покриття з карбіду танталу, виготовлений у Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
