Китай Процес епітаксії SiC Виробник, Постачальник, Завод

Унікальні карбідні покриття VeTek Semiconductor забезпечують чудовий захист графітових деталей у процесі епітаксії SiC для обробки складних напівпровідників і композитних напівпровідникових матеріалів. Результатом є подовження терміну служби графітових компонентів, збереження стехіометрії реакції, пригнічення міграції домішок до застосувань епітаксії та росту кристалів, що призводить до підвищення виходу та якості.

Наші покриття з карбіду танталу (TaC) захищають важливі компоненти печі та реактора при високих температурах (до 2200°C) від гарячого аміаку, водню, парів кремнію та розплавлених металів. VeTek Semiconductor має широкий спектр можливостей обробки та вимірювання графіту, щоб задовольнити ваші індивідуальні вимоги, тож ми можемо запропонувати покриття за окрему плату або повний комплекс послуг, а наша команда експертів-інженерів готова розробити правильне рішення для вас і вашої конкретної програми. .

Складні напівпровідникові кристали

VeTek Semiconductor може забезпечити спеціальні покриття TaC для різних компонентів і носіїв. Завдяки провідному в галузі процесу нанесення покриттів VeTek Semiconductor покриття TaC може отримати високу чистоту, стабільність при високій температурі та високу хімічну стійкість, тим самим покращуючи якість кристалічних шарів TaC/GaN) і EPL і подовжуючи термін служби критичних компонентів реактора.

Теплоізолятори

Компоненти для вирощування кристалів SiC, GaN і AlN, включаючи тиглі, затравкові тримачі, дефлектори та фільтри. Промислові вузли, включаючи резистивні нагрівальні елементи, сопла, екрануючі кільця та паяльні пристосування, компоненти епітаксійних CVD-реакторів GaN і SiC, включаючи пластини-носії, сателітні лотки, душові насадки, кришки та п’єдестали, компоненти MOCVD.

Призначення:

Світлодіод (світлодіод) вафельний носій

ALD (напівпровідниковий) приймач

Рецептор EPI (процес епітаксії SiC)

Супутниковий фіксатор із покриттям TaC Сусцептор і кільце покриття TaC Частини покриття TaC Частини півмісяця з покриттям TaC

Порівняння покриття SiC і покриття TaC:

	SiC	TaC
Основні риси	Надвисока чистота, чудова стійкість до плазми	Чудова високотемпературна стабільність (відповідність процесу високої температури)
Чистота	>99,9999%	>99,9999%
Щільність (г/см 3 )	3.21	15
Твердість (кг/мм 2)	2900-3300	6,7-7,2
Питомий опір [Ωcm]	0,1-15 тис	<1
Теплопровідність (Вт/м-К)	200-360	22
Коефіцієнт теплового розширення (10-6/℃)	4,5-5	6.3
застосування	Керамічне пристосування для напівпровідникового обладнання (кільце фокусування, душова лійка, фальшива пластина)	Зростання монокристалів SiC, Epi, УФ-світлодіодні частини обладнання

View as

CVD TaC Coating Wafer Carrier

Компанія VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier є професійним виробником та заводом у Китаї та є виробником CVD TaC Coating Wafer Carrier інструментом для перенесення пластин, спеціально розробленим для високотемпературних і корозійних середовищ у виробництві напівпровідників. Цей продукт має високу механічну міцність, чудову стійкість до корозії та термічну стабільність, що забезпечує необхідну гарантію для виробництва високоякісних напівпровідникових приладів. Ваші подальші запити вітаються.

Детальніше Надіслати запит

Нагрівач покриття TaC

VeTek Semiconductor є провідним виробником і інноватором нагрівачів покриття TaC у Китаї. Цей продукт має надзвичайно високу температуру плавлення (близько 3880°C). Висока температура плавлення TaC Coating Heater дозволяє йому працювати при надзвичайно високих температурах, особливо під час росту епітаксійних шарів нітриду галію (GaN) у процесі металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD). VeTek Semiconductor прагне надавати передові технології та продуктові рішення для напівпровідникової промисловості. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Детальніше Надіслати запит

Патрон із покриттям TaC

Як професійний виробник та постачальник патронів із покриттям TaC у Китаї, патрон із покриттям TaC від VeTek Semiconductor спеціально розроблений для напівпровідникових печей. Завдяки стійкості до високих температур, хімічній інертності та чудовій продуктивності інноваційна технологія Vetek Semiconductor забезпечує надійне рішення для промисловості виробництва напівпровідників для забезпечення стандартів високої якості виробництва. Ми віримо, що наша продукція може принести вам передові технології та високоякісні рішення для продуктів.

Детальніше Надіслати запит

Труба з покриттям TaC

Як професійний виробник і постачальник трубок із покриттям TaC у Китаї, компанія VeTek Semiconductor займається виробництвом трубок із покриттям TaC, що є ключовим компонентом для успішного зростання монокристалів карбіду кремнію. Завдяки високотемпературній стійкості, хімічній інертності та чудовій продуктивності він забезпечує виробництво високоякісних кристалів із стабільними результатами. Довіртеся нашим інноваційним рішенням, щоб покращити процес вирощування кристалів SiC методом PVT і досягти чудових результатів. Ласкаво просимо до нас.

Детальніше Надіслати запит

Покриття CVD TAC

VeTek Semiconductor є провідним виробником, новатором і лідером CVD TAC Coating у Китаї. Протягом багатьох років ми зосереджувалися на різних продуктах покриття CVD TAC, таких як кришка покриття CVD TaC, кільце покриття CVD TaC, носій покриття CVD TaC тощо. VeTek Semiconductor підтримує індивідуальні послуги та задовільні ціни на продукцію, і з нетерпінням чекає на ваше подальше консультація.

Детальніше Надіслати запит

Запасна частина покриття TaC

VeTek Semiconductor є професійним виробником пластин із покриттям TaC та інших запасних частин для покриття TaC у Китаї. Наразі покриття TaC в основному використовується в таких процесах, як вирощування монокристалів карбіду кремнію (метод PVT), епітаксійний диск (включаючи епітаксію карбіду кремнію, світлодіодну епітаксію) тощо. У поєднанні з хорошою довгостроковою стабільністю пластини з покриттям TaC VeTek Semiconductor TaC Пластина з покриттям стала еталоном для запасних частин для покриття TaC. Ми з нетерпінням чекаємо, що ви станете нашим довгостроковим партнером.

Детальніше Надіслати запит

<1 2 3 4 5...6 >

Як професійний Процес епітаксії SiC виробник і постачальник у Китаї, ми маємо власну фабрику. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги відповідно до конкретних потреб вашого регіону, чи бажаєте придбати вдосконалений і міцний Процес епітаксії SiC, виготовлений у Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.