Підтримка покриття з карбіду танталу

Основна функція VeTek SemiconductorПокриття з карбіду танталу (TaC).Підтримка полягає в покращеннітермостійкість, зносостійкість і стійкість до корозіїпідкладки шляхом нанесення шару покриття з карбіду танталу, щоб підвищити точність і надійність процесу та подовжити термін служби компонентів. Це високоефективне покриття, яке використовується в області обробки напівпровідників.

Покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor має твердість за шкалою Мооса майже 9~10, поступаючись лише алмазу. Він має надзвичайно високу зносостійкість і може ефективно протистояти поверхневому зносу та ударам під час обробки, тим самим ефективно подовжуючи термін служби компонентів обладнання. У поєднанні з його високою температурою плавлення близько 3880°C, він часто використовується для покриття ключових компонентів напівпровідникового обладнання, наприклад, поверхневих покриттів опорних структур, обладнання для термічної обробки, камер або прокладок у напівпровідниковому обладнанні для підвищення його зносостійкості та високої температури. опір.

Завдяки надзвичайно високій температурі плавлення карбіду танталу приблизно 3880°C, у процесах обробки напівпровідників, таких якхімічне осадження з парової фази (CVD)іфізичне осадження з парової фази (PVD)Покриття TaC із високою стійкістю до високих температур і стійкістю до хімічної корозії може ефективно захистити компоненти обладнання та запобігти корозії чи пошкодженню підкладки в екстремальних умовах, забезпечуючи ефективний захист у середовищі високої температури під час виробництва пластин. Ця особливість також визначає те, що опора для покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor часто використовується в процесах травлення та корозії.

Підтримка покриття з карбіду танталу також має функцію зменшення забруднення частинками. Під час обробки пластин знос поверхні зазвичай призводить до забруднення частинками, що впливає на якість продукту пластини. Надзвичайні характеристики продукту TaC Coating із твердістю, близькою до 9-10 за шкалою Мооса, можуть ефективно зменшити цей знос, тим самим зменшуючи утворення частинок. У поєднанні з чудовою теплопровідністю покриття TaC (близько 21 Вт/м·К) воно може підтримувати хорошу теплопровідність за умов високої температури, тим самим значно покращуючи продуктивність і послідовність виробництва пластин.

Основні продукти покриття TaC від VeTek Semiconductor включаютьНагрівач покриття TaC, Тигель для покриття CVD TaC, Приймач обертання покриття TaCіЗапасна частина покриття TaC, і т.д., а також підтримують персоналізовані послуги продукту. VeTek Semiconductor прагне надавати чудові продукти та технічні рішення для напівпровідникової промисловості. Ми щиро сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі:

Основні фізичні властивості покриття CVD TaC：