Китай Процес епітаксії SiC Виробник, Постачальник, Завод

Унікальні карбідні покриття VeTek Semiconductor забезпечують чудовий захист графітових деталей у процесі епітаксії SiC для обробки складних напівпровідників і композитних напівпровідникових матеріалів. Результатом є подовження терміну служби графітових компонентів, збереження стехіометрії реакції, пригнічення міграції домішок до застосувань епітаксії та росту кристалів, що призводить до підвищення виходу та якості.

Наші покриття з карбіду танталу (TaC) захищають важливі компоненти печі та реактора при високих температурах (до 2200°C) від гарячого аміаку, водню, парів кремнію та розплавлених металів. VeTek Semiconductor має широкий спектр можливостей обробки та вимірювання графіту, щоб задовольнити ваші індивідуальні вимоги, тож ми можемо запропонувати покриття за окрему плату або повний комплекс послуг, а наша команда експертів-інженерів готова розробити правильне рішення для вас і вашої конкретної програми. .

Складні напівпровідникові кристали

VeTek Semiconductor може забезпечити спеціальні покриття TaC для різних компонентів і носіїв. Завдяки провідному в галузі процесу нанесення покриттів VeTek Semiconductor покриття TaC може отримати високу чистоту, стабільність при високій температурі та високу хімічну стійкість, тим самим покращуючи якість кристалічних шарів TaC/GaN) і EPL і подовжуючи термін служби критичних компонентів реактора.

Теплоізолятори

Компоненти для вирощування кристалів SiC, GaN і AlN, включаючи тиглі, затравкові тримачі, дефлектори та фільтри. Промислові вузли, включаючи резистивні нагрівальні елементи, сопла, екрануючі кільця та паяльні пристосування, компоненти епітаксійних CVD-реакторів GaN і SiC, включаючи пластини-носії, сателітні лотки, душові насадки, кришки та п’єдестали, компоненти MOCVD.

Призначення:

Світлодіод (світлодіод) вафельний носій

ALD (напівпровідниковий) приймач

Рецептор EPI (процес епітаксії SiC)

Супутниковий фіксатор із покриттям TaC Сусцептор і кільце покриття TaC Частини покриття TaC Частини півмісяця з покриттям TaC

Порівняння покриття SiC і покриття TaC:

	SiC	TaC
Основні риси	Надвисока чистота, чудова стійкість до плазми	Чудова високотемпературна стабільність (відповідність процесу високої температури)
Чистота	>99,9999%	>99,9999%
Щільність (г/см 3 )	3.21	15
Твердість (кг/мм 2)	2900-3300	6,7-7,2
Питомий опір [Ωcm]	0,1-15 тис	<1
Теплопровідність (Вт/м-К)	200-360	22
Коефіцієнт теплового розширення (10-6/℃)	4,5-5	6.3
застосування	Керамічне пристосування для напівпровідникового обладнання (кільце фокусування, душова лійка, фальшива пластина)	Зростання монокристалів SiC, Epi, УФ-світлодіодні частини обладнання

View as

CVD TaC Coating Carrier

Носій покриття CVD TaC компанії VeTek Semiconductor в основному розроблений для епітаксійного процесу виробництва напівпровідників. Надвисока температура плавлення, чудова стійкість до корозії та надзвичайна термостабільність покриття CVD TaC Coating визначають незамінність цього продукту в епітаксійному процесі напівпровідників. Ми щиро сподіваємося побудувати з вами довгострокові ділові відносини.

Детальніше Надіслати запит

Направляюче кільце покриття TaC

Направляюче кільце покриття TaC компанії VeTek Semiconductor створюється шляхом нанесення покриття з карбіду танталу на графітові деталі за допомогою передової технології, яка називається хімічним осадженням з парової фази (CVD). Цей метод добре зарекомендував себе і забезпечує виняткові властивості покриття. Використовуючи направляюче кільце покриття TaC, можна значно подовжити термін служби графітових компонентів, придушити рух домішок графіту та надійно підтримувати якість монокристалів SiC і AIN. Ласкаво просимо до нас.

Детальніше Надіслати запит

Графітовий чутливий елемент із покриттям TaC

Graphite Susceptor із покриттям TaC від VeTek Semiconductor використовує метод хімічного осадження з парової фази (CVD) для отримання покриття з карбіду танталу на поверхні графітових деталей. Цей процес є найбільш зрілим і має найкращі властивості покриття. TaC Coated Graphite Susceptor може продовжити термін служби графітових компонентів, перешкоджати міграції домішок графіту та забезпечити якість епітаксії. VeTek Semiconductor з нетерпінням чекає на ваш запит.

Детальніше Надіслати запит

Сусцептор покриття TaC

VeTek Semiconductor представляє TaC Coating Susceptor. Завдяки винятковому покриттю TaC цей чутливий елемент пропонує безліч переваг, які відрізняють його від звичайних рішень. Бездоганно інтегруючись у існуючі системи, TaC Coating Susceptor від VeTek Semiconductor гарантує сумісність та ефективну роботу. Його надійні характеристики та високоякісне покриття TaC постійно забезпечують виняткові результати в процесах епітаксії SiC. Ми прагнемо надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами та сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Детальніше Надіслати запит

Обертова пластина з покриттям TaC

Обертова пластина з покриттям TaC від VeTek Semiconductor має видатне покриття TaC. Завдяки винятковому покриттю TaC, обертова пластина з покриттям TaC може похвалитися чудовою високотемпературною стійкістю та хімічною інертністю, що відрізняє її від традиційних рішень. Ми прагнемо надавати якісні продукти за конкурентоспроможною ціною. ціни та сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Детальніше Надіслати запит

Пластина з покриттям TaC

Пластина з покриттям TaC компанії VeTek Semiconductor — це чудовий продукт, який пропонує виняткові характеристики та переваги. Розроблена з точністю та розроблена до досконалості, наша пластина з покриттям TaC спеціально розроблена для різних застосувань у процесах вирощування монокристалів карбіду кремнію (SiC). Точні розміри та міцна конструкція пластини з покриттям TaC дозволяють легко інтегрувати її в існуючі системи, забезпечуючи бездоганну сумісність і ефективна робота. Його надійна робота та високоякісне покриття сприяють стабільним і рівномірним результатам у застосуваннях для вирощування кристалів SiC. Ми прагнемо надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами та сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Детальніше Надіслати запит

<...2 3 4 5 6...7 >

Як професійний Процес епітаксії SiC виробник і постачальник у Китаї, ми маємо власну фабрику. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги відповідно до конкретних потреб вашого регіону, чи бажаєте придбати вдосконалений і міцний Процес епітаксії SiC, виготовлений у Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.