Вафельний човен з карбіду кремнію

Вафельний човен з карбіду кремнію високої чистоти від VeTek Semiconductor виготовлений з надзвичайно чистого матеріалу карбіду кремнію з чудовою термічною стабільністю, механічною міцністю та хімічною стійкістю. Вафельний човен із карбіду кремнію високої чистоти використовується в гарячих зонах у виробництві напівпровідників, особливо у високотемпературному середовищі, і відіграє важливу роль у захисті пластин, транспортуванні матеріалів і підтримці стабільних процесів. VeTek Semiconductor продовжуватиме наполегливо працювати над інноваціями та покращувати продуктивність карбіду кремнію високої чистоти Wafer Boat, щоб задовольнити зростаючі потреби у виробництві напівпровідників. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Як професійний виробник, VeTek Semiconductor хоче надати вам високоякісну пластину з карбіду кремнію.

Чудові теплові характеристики: високочисті пластини з карбіду кремнію VeTek Semiconductor мають чудові теплові характеристики, стабільні у високотемпературному середовищі та мають чудову теплопровідність, що дозволяє їм працювати при температурах, значно вищих за температуру навколишнього середовища. Це робить пластинчастий човен із карбіду кремнію високої чистоти ідеальним для застосувань із високою потужністю та високою температурою.

Чудова стійкість до корозії: Вафельний човен із карбіду кремнію високої чистоти є ключовим інструментом для виробництва напівпровідників і має високу стійкість до різних корозійних агентів. Як надійний носій, він може протистояти впливу високої температури та корозії в хімічному середовищі, забезпечуючи безпечну та ефективну обробку пластин карбіду кремнію. Як надійний носій, він може протистояти впливу високої температури та корозії в хімічному середовищі, забезпечуючи безпечну та ефективну обробку пластин карбіду кремнію.

Цілісність розмірів: Вафельний човен з карбіду кремнію високої чистоти не дає усадки під час процесу спікання, зберігаючи цілісність розмірів і усуваючи залишкові напруги, які можуть спричинити деформацію або розтріскування деталей. Це дозволяє виготовляти деталі складної форми з точними розмірами. У виробництві напівпровідникових приладів чи в інших галузях промисловості високочистий карбід кремнію Wafer Boat забезпечує надійний контроль розмірів, щоб гарантувати відповідність деталей специфікаціям.

Будучи універсальним інструментом, карбідно-кремнієвий човен VeTek Semiconductor високої чистоти може бути застосований до різноманітних технологій виробництва напівпровідників, включаючи епітаксійне вирощування та хімічне осадження з парової фази. Його міцна конструкція та нереактивність роблять пластинчастий човен із карбіду кремнію високої чистоти придатним для різноманітних хімічних процесів, забезпечуючи плавну адаптацію до різних середовищ обробки.

У виробництві напівпровідників епітаксійне зростання та хімічне осадження з парової фази є звичайними етапами процесу, які використовуються для вирощування високоякісних пластин і тонких плівок. Човен SiC високої чистоти відіграє важливу роль як носій, який може витримувати вплив високих температур і хімічних речовин, щоб забезпечити точні процеси росту та осадження.

На додаток до міцної конструкції, човен із SiC високої чистоти також не реагує. Це означає, що він не буде негативно реагувати на хімічні речовини для обробки, таким чином зберігаючи цілісність і продуктивність човна. Це надає виробникам напівпровідників надійний інструмент для забезпечення послідовності та повторюваності виробничого процесу.

Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію

Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію
Власність	Типове значення
Робоча температура (°C)	1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище)
Вміст SiC	> 99,96%
Безкоштовний вміст Si	< 0,1%
Об'ємна щільність	2,60-2,70 г/см3
Видима пористість	< 16%
Міцність на стиск	> 600 МПа
Міцність на холодний вигин	80-90 МПа (20°C)
Міцність на гарячий вигин	90-100 МПа (1400°C)
Теплове розширення @1500°C	4,70 10-6/°C
Теплопровідність @1200°C	23 Вт/м•К
Модуль пружності	240 ГПа
Стійкість до термічного удару	Надзвичайно добре