> Продукти > Покриття з карбіду кремнію > Епітаксія з карбіду кремнію

Продукти

нові продукти

Китай Епітаксія з карбіду кремнію Виробник, Постачальник, Завод

Підготовка високоякісної епітаксії карбіду кремнію залежить від передових технологій, обладнання та аксесуарів до обладнання. В даний час найбільш широко використовуваним методом епітаксії карбіду кремнію є хімічне осадження з газової фази (CVD). Він має такі переваги, як точний контроль товщини епітаксійної плівки та концентрації легування, менша кількість дефектів, помірна швидкість росту, автоматичне керування процесом тощо, і це надійна технологія, яка успішно застосована в комерційних цілях.

CVD-епітаксія з карбіду кремнію зазвичай використовує CVD-обладнання з гарячою або теплою стінкою, яке забезпечує продовження шару епітаксії 4H кристалічного SiC в умовах високої температури росту (1500 ~ 1700 ℃), CVD з гарячою або теплою стінкою після років розробки, відповідно до співвідношення між напрямком потоку повітря на вході та поверхнею підкладки, реакційну камеру можна розділити на реактор з горизонтальною структурою та реактор з вертикальною структурою.

Існують три основні показники якості епітаксіальної печі SIC. Перший - це ефективність епітаксіального росту, включаючи однорідність товщини, однорідність легування, рівень дефектів і швидкість росту; По-друге, температурні показники самого обладнання, включаючи швидкість нагріву/охолодження, максимальну температуру, рівномірність температури; Нарешті, вартість самого обладнання, включаючи ціну та потужність окремої одиниці.

Три види епітаксійної печі для вирощування карбіду кремнію та відмінності аксесуарів для серцевини

Горизонтальна CVD з гарячою стінкою (типова модель PE1O6 компанії LPE), планетарна CVD з гарячою стінкою (типова модель Aixtron G5WWC/G10) і квазігаряча стінка CVD (представлена EPIREVOS6 компанії Nuflare) є основними технічними рішеннями епітаксійного обладнання, які були реалізовані у комерційних програмах на цьому етапі. Три технічні пристрої також мають свої особливості і можуть бути обрані відповідно до попиту. Їх структура представлена таким чином:

Відповідні основні компоненти такі:

(a) Основна частина горизонтального типу з гарячою стіною - складається з частин Halfmoon

Ізоляція внизу

Основний утеплювач верху

Верхній півмісяць

Ізоляція вище по течії

Перехідна частина 2

Перехідна частина 1

Зовнішнє повітряне сопло

Конусна трубка

Зовнішнє сопло газу аргону

Аргонова насадка

Вафельна опорна пластина

Центруючий штифт

Центральна охорона

Нижня ліва захисна кришка

Нижня права захисна кришка

Передня ліва захисна кришка

Верхня права захисна кришка

Бічна стінка

Графітне кільце

Захисний фетр

Опорний фетр

Контактний блок

Газовий циліндр

(b)Тепла стіна планетарного типу

Планетарний диск із покриттям SiC і планетарний диск із покриттям TaC

Nuflare (Японія): Ця компанія пропонує двокамерні вертикальні печі, які сприяють підвищенню продуктивності. Обладнання має високу швидкість обертання до 1000 обертів на хвилину, що є дуже корисним для епітаксійної рівномірності. Крім того, його напрямок повітряного потоку відрізняється від іншого обладнання, будучи вертикальним вниз, таким чином мінімізуючи утворення частинок і зменшуючи ймовірність падіння крапель частинок на пластини. Для цього обладнання ми пропонуємо основні графітові компоненти з SiC-покриттям.

Як постачальник компонентів SiC епітаксійного обладнання, VeTek Semiconductor прагне надавати клієнтам високоякісні компоненти покриття для підтримки успішного впровадження SiC епітаксії.

View as

Реактор LPE Halfmoon SiC EPI

VeTek Semiconductor є професійним виробником LPE Halfmoon SiC EPI Reactor, новатором і лідером у Китаї. LPE Halfmoon SiC EPI Reactor — це пристрій, спеціально розроблений для виробництва високоякісних епітаксіальних шарів карбіду кремнію (SiC), які в основному використовуються в напівпровідниковій промисловості. VeTek Semiconductor прагне надавати провідні технології та рішення для продуктів для напівпровідникової промисловості та вітає ваші подальші запити.

Детальніше Надіслати запит

Стеля з покриттям CVD SiC

Як професійний виробник і постачальник стелі з покриттям CVD SiC у Китаї, стеля VeTek Semiconductor з покриттям CVD SiC має чудові властивості, такі як стійкість до високих температур, стійкість до корозії, висока твердість і низький коефіцієнт теплового розширення, що робить його ідеальним вибором матеріалу для виробництва напівпровідників. Сподіваємось на подальшу співпрацю з вами.

Детальніше Надіслати запит

CVD SiC графітовий циліндр

CVD SiC-графітовий циліндр від Vetek Semiconductor є ключовим у напівпровідниковому обладнанні, слугуючи захисним екраном у реакторах для захисту внутрішніх компонентів при високих температурах і тиску. Він ефективно захищає від хімічних речовин і сильної спеки, зберігаючи цілісність обладнання. Завдяки винятковій стійкості до зносу та корозії, він забезпечує довговічність і стабільність у складних умовах. Використання цих чохлів покращує продуктивність напівпровідникових пристроїв, подовжує термін служби та зменшує вимоги до обслуговування та ризики пошкодження. Ласкаво просимо до нас.

Детальніше Надіслати запит

Насадка для покриття CVD SiC

Насадки CVD SiC Coating від Vetek Semiconductor є ключовими компонентами, які використовуються в процесі епітаксії LPE SiC для нанесення карбідних матеріалів кремнію під час виробництва напівпровідників. Ці насадки зазвичай виготовляються з високотемпературного та хімічно стійкого карбіду кремнію, щоб забезпечити стабільність у суворих умовах обробки. Розроблені для рівномірного нанесення, вони відіграють ключову роль у контролі якості та однорідності епітаксіальних шарів, вирощених у напівпровідникових додатках. З нетерпінням чекаємо налагодження довгострокової співпраці з вами.

Детальніше Надіслати запит

CVD SiC протектор покриття

Vetek Semiconductor надає CVD SiC Coating Protector, який використовується для LPE SiC епітаксії. Термін «LPE» зазвичай відноситься до епітаксії під низьким тиском (LPE) у хімічному осадженні з парової фази під низьким тиском (LPCVD). У виробництві напівпровідників LPE є важливою технологічною технологією для вирощування монокристалічних тонких плівок, які часто використовуються для вирощування кремнієвих епітаксійних шарів або інших напівпровідникових епітаксійних шарів. Будь ласка, не соромтеся звертатися до нас, щоб отримати додаткові запитання.

Детальніше Надіслати запит

П'єдестал із покриттям SiC

Vetek Semiconductor є професіоналом у виготовленні покриттів CVD SiC, покриттів TaC на матеріалі з графіту та карбіду кремнію. Ми надаємо продукти OEM та ODM, такі як п’єдестал з SiC покриттям, підставка для пластин, патрон для пластин, лоток для пластин, планетарний диск тощо. Завдяки чистій кімнаті та пристрою для очищення 1000 класу ми можемо надати вам продукти з вмістом домішок нижче 5 ppm. Чекаємо з нетерпінням від вас скоро.

Детальніше Надіслати запит

<1 2 3 4 >

Як професійний Епітаксія з карбіду кремнію виробник і постачальник у Китаї, ми маємо власну фабрику. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги відповідно до конкретних потреб вашого регіону, чи бажаєте придбати вдосконалений і міцний Епітаксія з карбіду кремнію, виготовлений у Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.