Запасна частина покриття TaC

VeTek Semiconductor є професійним виробником пластин із покриттям TaC та інших запасних частин для покриття TaC у Китаї. Наразі покриття TaC в основному використовується в таких процесах, як вирощування монокристалів карбіду кремнію (метод PVT), епітаксійний диск (включаючи епітаксію карбіду кремнію, світлодіодну епітаксію) тощо. У поєднанні з хорошою довгостроковою стабільністю пластини з покриттям TaC VeTek Semiconductor TaC Пластина з покриттям стала еталоном для запасних частин для покриття TaC. Ми з нетерпінням чекаємо, що ви станете нашим довгостроковим партнером.

Надіслати запит

Опис продукту

VeTek SemiconductorПластина з покриттям TaCце спеціальний матеріал, який широко використовується внапівпровідниквиробничий процес. У поєднанні з високою твердістю та зносостійкістю, високотемпературною стійкістю, стійкістю до корозії, низьким коефіцієнтом тертя та хорошою теплопровідністю пластина з покриттям TaC відіграє незамінну роль у багатьох ланках обробки напівпровідників.

Загалом, додаткиПластини з покриттям TaCв обробці напівпровідників є такі:

CVD/ALD ростовий субстрат: Стійкість до високих температур, хімічна стабільність і низький коефіцієнт тертя пластин, покритих TaC, роблять їх ідеальними субстратами для росту CVD/ALD. Він може забезпечити стабільне середовище росту для забезпечення однорідності та щільності плівки.

Травлення пластини маски: висока твердість і корозійна стійкість пластин із покриттям TaC дозволяє їм витримувати процеси високої енергії, такі як плазмове травлення, як пластини-маски для травлення, захищаючи плівку, що лежить під ними.

Полірувальна подушечка CMP: Зносостійкість і низький коефіцієнт тертя пластин з покриттям TaC роблять їх ідеальними матеріалами для полірувальних накладок CMP, які можуть ефективно видаляти частки та дефекти на поверхні плівки.

Високотемпературна пічна труба: Стійкість до високих температур і корозії пластин з покриттям TaC дозволяє використовувати їх як труби для печей у високотемпературних печах для високотемпературного відпалу, дифузії та інших процесів.

У поєднанні з характеристиками продуктуПластина з покриттям TaC, це визначає, що цей продукт відіграє незамінну ключову роль у покращенні продуктивності пристрою, подовженні терміну служби обладнання та підвищенні ефективності виробництва.

Як професійний виробникЕпіакцептор GaN на SiC, Пористий графітіПластина з покриттям TaCу Китаї VeTek Semiconductor завжди наполягає на наданні індивідуальних послуг із продуктами та прагне надавати галузі найкращі технології та рішення для продуктів. Ми щиро сподіваємося на подальшу консультацію.

Технічні параметри CVD TAC COATING：