Обігрівач VEECO MOCVD

Нагрівач VeTeksemi VEECO MOCVD виготовлений із графітового матеріалу високої чистоти з вмістом домішок, який суворо контролюється нижче 5 ppm, і покритий карбідом кремнію надвисокої чистоти (SiC) із чистотою понад 99,99995% черезпроцес хімічного осадження з парової фази (CVD).. Ця комбінація матеріалів надає обігрівачу ряд ключових властивостей, які забезпечують його відмінну роботу вметалоорганічне хімічне осадження з парової фази (MOCVD)процес.

Однією з видатних особливостей нагрівача VEECO MOCVD є його надзвичайна хімічна чистота. Графітове ядро ​​високої чистоти значно зменшує потенційне введення забруднюючих речовин у високотемпературний процес, забезпечуючи надчистий процес осадження плівки. TheCVD покриття SiCзабезпечує додатковий захист нагрівача, утворюючи міцний бар'єр для запобігання хімічних реакцій, які можуть погіршити якість плівки. Ця неперевершена чистота є важливою для виробництва високопродуктивних надійних напівпровідникових пристроїв.

При цьому обігрівач демонструє надзвичайно високу термічну стабільність і ефективність. SiC має високу температуру плавлення та чудову теплопровідність, що дозволяє нагрівачу ефективно керувати та проводити тепло. Це забезпечує рівномірний нагрів підкладки, що, у свою чергу, допомагає досягти рівномірного осадження плівки та зменшити дефекти, викликані температурними градієнтами. Така теплова ефективність особливо важлива для точного виробництва.

Обігрівач VEECO MOCVD також відрізняється електричними характеристиками. Його високочистий графітовий сердечник має чудову електропровідність, що дозволяє нагрівачу витримувати високі вимоги до електричного навантаження. Ці стабільні електричні характеристики дозволяють нагрівачу підтримувати точний контроль температури та швидкості осадження в умовах високого навантаження, що має вирішальне значення для забезпечення стабільних умов процесу та підвищення ефективності виробництва напівпровідників.

Конструкція поверхні нагрівача була ретельно оптимізована, щоб мати високу випромінювальну здатність підкладки, що значно покращує ефективність радіаційної теплопередачі. Здатність рівномірно нагріватися є ключовим фактором у забезпеченні постійної товщини та характеристик осадження плівки. Конструкція поверхні з високим коефіцієнтом випромінювання також покращує загальну теплову ефективність нагрівача, тим самим зменшуючи споживання енергії та експлуатаційні витрати.

З точки зору довговічності, нагрівач VeTeksemi VEECO MOCVD демонструє чудову стійкість до корозії, стійкість до окислення та механічну міцність. Покриття CVD SiC забезпечує надійний бар’єр для корозійних газів і хімічних речовин, поширених у процесах MOCVD, тим самим подовжуючи термін служби обладнання та зменшуючи потреби в технічному обслуговуванні та витрати на заміну. Його стійкість до окислення гарантує, що нагрівач залишається стабільним при високих температурах без погіршення продуктивності, забезпечуючи тривалу стабільність.

Крім того, висока механічна міцність нагрівача VeTeksemi MOCVD дозволяє йому витримувати фізичні навантаження, що виникають під час термічного циклу та обробки підкладки. Його міцність знижує ризик механічних пошкоджень і забезпечує надійну роботу обладнання в жорстких умовах процесу.

Як передовий виробник і постачальник обігрівачів VEECO MOCVD, VeTeksemi також пропонує різноманітні високоякісні обігрівачі, такі якНагрівач покриття TaC, графітовий нагрівач з керамічним покриттям карбіду кремнію, нагрівач з керамічним покриттям з карбіду кремніюі т. д. VeTek Semiconductor прагне надавати передові та настроювані технології та рішення для продуктів для напівпровідникової промисловості. Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.