нагрівач з керамічним покриттям з карбіду кремнію

VeTek SemiconductorНагрівач із керамічним покриттям із карбіду кремнію — це нагрівач, призначений для роботи при високих температурах і суворих умовах. Він покриває шар кремнієвого вуглецевого керамічного покриття (SiC) на поверхні нагрівального елемента, щоб надати обладнанню відмінну термостійкість, стійкість до корозії та теплопровідність. 

Нагрівач з керамічним покриттям з карбіду кремніюв основному використовується в обладнанні для вакуумного покриття (випарювання). Зазвичай використовуються методи PCD (плазмохімічне сушіння) і PVD (фізичне осадження з парової фази), які широко використовуються у виробництві напівпровідників та інших промислових застосуваннях із високим попитом.

У поєднанні з високоефективною конструкцією покриття керамічного нагрівача з карбіду кремнію,він може забезпечити чудове рішення для нагріву для високотемпературних процесів.

Відмінна теплопровідність: матеріал SiC має чудову теплопровідність, що забезпечує рівномірний розподіл тепла в робочій зоні та зменшує градієнти температури.

Забезпечують рівномірний розподіл тепла: Нагрівач з керамічним покриттям з карбіду кремнію використовує високу теплопровідність матеріалу SiC для досягнення рівномірного розподілу температури по всій зоні нагріву. Це критично важливо для забезпечення рівномірної термічної обробки напівпровідникових пластин у різних високотемпературних процесах, таких як швидка термічна обробка (RTP), дифузія та окислення, щоб уникнути дефектів продукту, спричинених локальним перегріванням або нерівномірною температурою.

Стійкість до високих температур: покриття SiC дозволяє нагрівачу витримувати надзвичайно високі температури, як правило, до 1600°C, що підходить для різних високотемпературних процесів обробки.

Поліпшити термостійкість: Оскільки покриття може витримувати надзвичайно високі температури, воно добре працює в процесах, які вимагають тривалої роботи при високій температурі. Наприклад, у процесах хімічного осадження з парової фази (CVD) нагрівач керамічного покриття з карбіду кремнію може забезпечити тривалу стабільну роботу обладнання при високих температурах і підтримувати постійну продуктивність нагрівання, тим самим покращуючи повторюваність і надійність процесу.

Стійкість до хімічної корозії: покриття SiC має надзвичайно високу стійкість до кислот, лугів і корозійних газів і може залишатися стабільним протягом тривалого часу в складній хімічній атмосфері, подовжуючи термін служби обладнання. 

Подовження терміну експлуатації обладнання: покриття SiC має чудову стійкість до окислення та корозії, а також може ефективно протистояти хімічній ерозії та окисленню за високих температур. Це дуже важливо в процесі виробництва напівпровідників, особливо в середовищі, яке обробляє корозійні гази та хімікати. Захисний ефект покриття дозволяє істотно продовжити термін служби обігрівача і знизити частоту заміни обладнання і витрати на обслуговування.

Основні фізичні властивості нагрівача з карбідокремнієвим керамічним покриттям:

Цехи нагрівачів карбіду кремнію з керамічним покриттям VeTek Semiconductor:

Огляд промислової мережі епітаксії напівпровідникових мікросхем VeTek: