VeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником у Китаї карбіду кремнію з покриттям SiC, який має багаторічний досвід у дослідженні та розробці та виробництві, може добре контролювати якість і запропонувати конкурентоспроможну ціну. Ласкаво просимо відвідати наш завод і провести подальше обговорення співпраці.
VeTek Semiconductor є китайським виробником і постачальником, який в основному виробляє вафельний човен із карбіду кремнію з покриттям SiC із багаторічним досвідом. Сподіваюся побудувати з вами ділові відносини. Вафельний човен з карбіду кремнію з покриттям SiC використовується в напівпровідникових дифузійних печах для перенесення пластин для різних високотемпературних процесів, таких як іонна імплантація, дифузія та відпал. Він може забезпечити стабільне середовище для пластин, забезпечуючи однорідність температури та консистенцію під час обробки.
Човни з карбіду кремнію з покриттям SiC мають вищу термостійкість і хімічну стабільність, що дозволяє їм працювати при більш високих температурах і забезпечувати довший термін служби. Крім того, вони мають нижчу швидкість випаровування матеріалу та швидкість адсорбції газу, що допомагає зменшити вплив домішок на обробку пластин.
Ми можемо виготовляти різні типи вафельних човнів з карбіду кремнію, таких як горизонтальні вафельні човни, вертикальні вафельні човни та будь-які інші човни на замовлення.
1. Високотемпературна стабільність
2. Хімічна інертність
3. Низький вміст домішок
4.Теплопровідність
Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію | |
Власність | Типове значення |
Робоча температура (°C) | 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище) |
Вміст SiC | > 99,96% |
Безкоштовний вміст Si | < 0,1% |
Об'ємна щільність | 2,60-2,70 г/см3 |
Видима пористість | < 16% |
Міцність на стиск | > 600 МПа |
Міцність на холодний вигин | 80-90 МПа (20°C) |
Міцність на гарячий вигин | 90-100 МПа (1400°C) |
Теплове розширення @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Теплопровідність @1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль пружності | 240 ГПа |
Стійкість до термічного удару | Надзвичайно добре |