VeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником пластин карбіду кремнію в Китаї для горизонтальної печі, з багаторічним досвідом у науково-дослідних роботах і виробництві, може добре контролювати якість і пропонувати конкурентоспроможну ціну. Ви можете бути впевнені, купуючи карбідокремнієвий вафельний човен для горизонтальної печі у нас.
Високоякісну пластину з карбіду кремнію для горизонтальної печі пропонує китайський виробник VeTek Semiconductor. Купуйте карбідокремнієвий вафельний човен для горизонтальної печі високої якості безпосередньо з заводу за низькою ціною. Карбідокремнієвий вафельний човен для горизонтальної печі використовується в пічних трубах для завантаження та переміщення пластин під час високотемпературної обробки. Завдяки чудовим властивостям матеріалів з карбіду кремнію, таким як стійкість до високих температур, стійкість до хімічної корозії та термічна стабільність, вони широко використовуються в різних процесах термічної обробки, таких як дифузія, окислення, CVD та відпал.
1. Висока твердість і зносостійкість: твердість карбіду кремнію поступається лише алмазу, що робить його високостійким до зношування. Це дозволяє човнам з карбіду кремнію витримувати повторювані механічні впливи та тертя, подовжуючи термін їх служби.
2. Стійкість до високих температур: карбід кремнію має температуру плавлення 2730°C, що робить човни з карбіду кремнію придатними для високотемпературних середовищ і різних процесів виробництва напівпровідників, таких як високотемпературне окислення та дифузія.
3. Низький коефіцієнт теплового розширення: карбід кремнію має низький коефіцієнт теплового розширення, що допомагає підтримувати стабільність розмірів при високих температурах, запобігаючи деформації човна та впливаючи на точність обробки пластин.
4. Гарна хімічна стабільність: карбід кремнію стійкий до більшості хімічних речовин і не реагує зі звичайними кислотними та лужними розчинами, що забезпечує безпеку та чистоту пластин.
Ми можемо виготовляти різні типи вафельних човнів з карбіду кремнію, таких як горизонтальні вафельні човни, вертикальні вафельні човни та будь-які інші човни на замовлення.
Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію | |
Власність | Типове значення |
Робоча температура (°C) | 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище) |
Вміст SiC | > 99,96% |
Безкоштовний вміст Si | < 0,1% |
Об'ємна щільність | 2,60-2,70 г/см3 |
Видима пористість | < 16% |
Міцність на стиск | > 600 МПа |
Міцність на холодний вигин | 80-90 МПа (20°C) |
Міцність на гарячий вигин | 90-100 МПа (1400°C) |
Теплове розширення @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Теплопровідність @1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль пружності | 240 ГПа |
Стійкість до термічного удару | Надзвичайно добре |
Пластина з карбіду кремнію для горизонтальних печей знаходить широке застосування в напівпровідниковій та фотоелектричній промисловості:
Очищення та травлення пластин
Дифузія та окислення
Гальваніка та травлення
Хіміко-механічна поліровка (CMP)
Термічна обробка
Перенесення та зберігання вафель