Графітовий нагрівач Hot Zone

Графітові нагрівачі VeTek Semiconductor Hot Zone розроблені для роботи в екстремальних умовах у високотемпературних печах. Нагрівачі здатні витримувати суворі умови, які зазвичай зустрічаються під час високотемпературної обробки, залежно від конкретних характеристик продукту, перелічених нижче.

Рівномірний розподіл температури: Графітовий нагрівач Hot Zone відомий своїми чудовими рівномірними характеристиками нагріву завдяки ідеальному поєднанню високоточного вибору матеріалу та точної технології обробки. Така рівномірність забезпечує плавний розподіл температури по всій поверхні нагріву, ефективно зменшуючи нерівномірну обробку пластин через температурні градієнти, тим самим покращуючи вихід продукту та сталість продуктивності обладнання.

Чудова стійкість до корозії: графітовий нагрівач для гарячої зони демонструє сильну стійкість до різних корозійних газів і хімічних речовин, які зустрічаються в процесах виробництва високотемпературних напівпровідників. Природна інертність графітових матеріалів дозволяє графітовим нагрівачам зберігати тривалу стабільність у суворих умовах, значно знижуючи ризик забруднення та продовжуючи термін служби обладнання.

Відмінні антиокислювальні властивості: У порівнянні з традиційними графітовими матеріалами, графітовий нагрівач Hot Zone все ще має чудову антиокислювальну здатність при високих температурах. Ця функція має вирішальне значення, щоб запобігти окислювальному пошкодженню поверхні нагрівача під час високотемпературної обробки та уникнути утворення частинок забруднення в робочій камері, забезпечуючи безперервну ефективну роботу обладнання.

Надвисока хімічна чистота: Після суворої обробки наш графітовий нагрівач досяг надзвичайно високого рівня хімічної чистоти, ефективно запобігаючи потраплянню шкідливих домішок у середовище обробки напівпровідників. Ця чистота має вирішальне значення для захисту цілісності прецизійних напівпровідникових матеріалів і виробництва пристроїв, які відповідають очікуваним електричним і оптичним властивостям.

Висока механічна міцність і стабільність: графітовий нагрівач Hot Zone від VeTekSemi має відмінну механічну міцність і стабільність розмірів, зберігаючи структурну цілісність навіть за умов експлуатації з високими температурами. Незалежно від того, чи стикаються з частими термічними циклами чи сильним механічним навантаженням, графітові нагрівачі для Hot Zone зберігають свою міцність і забезпечують міцну та надійну підтримку для жорстких умов обробки напівпровідників.

Крім того, VeTeksemi також пропонує різноманітні нестандартні розміри та конфігурації графітових нагрівачів для задоволення потреб різних процесів виробництва напівпровідників. такі якsic керамічне покриття графітобігрівач、Обігрівач VEECO MOCVD і т. д. VeTek Semiconductor прагне надавати передові та настроювані технології та рішення для продуктів для напівпровідникової промисловості. Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.